SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
SJ/T 11493-2015 The method of secondary ion mass spectrometry for measuring the nitrogen concentration in a silicon substrate
行业标准-电子
简体中文
废止
页数：6页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
SJ/T 11493-2015
标准类型
行业标准-电子
标准状态
废止
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2015年04月
研制信息
- 起草单位：
- 信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
- 起草人：
- 马农农、何友琴、何秀坤 等
- 出版信息：
- 页数：6页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/CMA CC097-2023 计量电子证书通用技术规范 2023-04-03
- T/NTB 11-2020 跆拳道俱乐部入退学标准化管理规范 2020-05-10
- T/HSIAHB 005-2022 永年108式传统武式太极拳套路技术规范 2022-04-11
- T/WLCIA 5-2021 武胜大雅柑整形修剪技术规程 2021-01-01
- T/ZLX 044-2023 绿色食品企业年度检查工作规范 2023-01-09
- T/GDNB 3-2020 广东茶园化肥减施增效技术规程 2020-04-10
- T/CQBSXY 1015-2021 飞织布帮面休闲鞋 2021-11-23
- T/CNFPIA 3006-2019 水性漆室内木质门 2019-05-20
- T/CSPSTC 11-2018 食品中常规致病菌快速检测方法 恒温扩增芯片法 2018-09-01
- T/NXZX 003-2023 站用无缝储气钢瓶定期检验规则 2023-08-11