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SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法

SJ/T 11493-2015 The method of secondary ion mass spectrometry for measuring the nitrogen concentration in a silicon substrate

行业标准-电子 简体中文 废止 页数：6页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
SJ/T 11493-2015
标准类型
行业标准-电子
标准状态
废止
中国标准分类号（CCS）
H82 元素半导体材料
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
适用范围
-

发布历史

文前页预览

SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法-第1页

研制信息

起草单位：
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
起草人：
马农农、何友琴、何秀坤 等
出版信息：
页数：6页 | 字数：- | 开本： -

内容描述

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