SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
SJ/T 11493-2015 The method of secondary ion mass spectrometry for measuring the nitrogen concentration in a silicon substrate
行业标准-电子
简体中文
废止
页数：6页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
SJ/T 11493-2015
标准类型
行业标准-电子
标准状态
废止
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2015年04月
研制信息
- 起草单位：
- 信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
- 起草人：
- 马农农、何友琴、何秀坤 等
- 出版信息：
- 页数：6页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/CRAAS 1133-2022 制冷与空调设备出口用产品性能评价 空调及热泵设备 2022-06-07
- T/EES 0018-2021 绿色低碳技术服务能力评价技术要求 2021-11-03
- T/CEEMA 003-2020 风电场项目选址选型技术规范 2020-06-30
- T/CEEIA 631-2022 风电装备制造业 绿色供应链建设指南 2022-12-30
- T/ZZB 2312-2021 空调用直动式电子膨胀阀 2021-08-26
- T/CEC 372-2020 电力储能用有机液体氢储存系统 2020-06-30
- T/CSEE 0180.1-2021 发电厂及变电站电气数字化设计技术规范 第 1 部分：高压配电装置 2021-03-11
- T/CASME 255-2022 生活垃圾热解再生转型环保设备 2022-12-26
- T/IMAS 020-2020 地面用晶体硅太阳电池检验规范 2020-07-08
- T/TMAC 086-2024 火力发电厂 二氧化碳捕集、运输与封存技术要求 2024-02-01