GB/T 37213-2018 硅晶锭尺寸的测定 激光法
GB/T 37213-2018 Test method for silicon brick dimension—Laser technology method
国家标准
中文简体
现行
页数：7页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 37213-2018
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2018-12-28
实施日期
2019-11-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本标准规定了采用激光法非接触式测量方形硅晶锭尺寸的方法，包括对角线、倒角、垂直度、边长和长度。本标准适用于半导体及光伏领域硅单晶棒或多晶硅铸锭切割成的方形硅晶锭尺寸的测量。
发布历史
-
2018年12月
研制信息
- 起草单位：
- 苏州协鑫光伏科技有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、山东大海新能源发展有限公司
- 起草人：
- 宫龙飞、金善明、林清香、夏根平、唐珊珊、刘坤
- 出版信息：
- 页数：7页 | 字数：13 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.040
H21
中华人民共和国国家标准
/—
GBT372132018
硅晶锭尺寸的测定激光法
—
TestmethodforsiliconbrickdimensionLasertechnolomethod
gy
2018-12-28发布2019-11-01实施
国家市场监督管理总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—
GBT372132018
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)与全国半导体设备和材料标准
定制服务
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