YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法
YS/T 1392-2020 Determination of Content of Chlorosilane Components by Gas Chromatography
行业标准-有色金属
简体中文
现行
页数：0页
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格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 1392-2020
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
发布日期
2020-12-09
实施日期
2021-04-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
-
适用范围
本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。
发布历史
-
2020年12月
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研制信息
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