GB/T 37211.3-2022 金属锗化学分析方法第3部分：痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法

GB/T 37211.3-2022 Method for chemical analysis of metal germanium—Part 3:Determination of trace impurity elements content—Glow discharge mass spectrometry

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基本信息

标准号

GB/T 37211.3-2022

标准类型

国家标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号（ICS）

77.040 金属材料试验

发布日期

2022-12-30

实施日期

2023-04-01

发布单位/组织

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

适用范围

本文件规定了辉光放电质谱法测定金属锗中痕量杂质元素含量的方法。本文件适用于金属锗中痕量杂质元素含量的测定，测定范围为0.001 mg/kg～2 mg/kg。

发布历史

2022年12月

GB/T 37211.3-2022　金属锗化学分析方法第3部分：痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法

当前标准现行 2022-12-30

文前页预览

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GB/T 37211.3-2022 金属锗化学分析方法第3部分：痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法-第2页

GB/T 37211.3-2022 金属锗化学分析方法第3部分：痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法-第3页

GB/T 37211.3-2022 金属锗化学分析方法第3部分：痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法-第4页

研制信息

起草单位：: 安徽光智科技有限公司、云南驰宏锌锗股份有限公司、国标(北京)检验认证有限公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、东方电气(乐山)峨半高纯材料有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、广东先导稀材股份有限公司、广东飞成新材料有限公司

起草人：: 朱赞芳、谭秀珍、廖吉伟、刘红、吴王昌、黎亚文、李瑶、刘英波、李正美、崔丁方、李江霖、段春芳

出版信息：: 页数：7页 | 字数：16 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS77.040

CCSH17

中华人民共和国国家标准

/—

GBT37211.32022

金属锗化学分析方法

第部分痕量杂质元素的测定

辉光放电质谱法

Methodforchemicalanalsisofmetalermanium—

:—

Part3Determinationoftraceimuritelementscontent

Glowdischaremasssectrometr

gpy

2022-12-30发布2023-04-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT37211.32022

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/《》。/:

本文件是金属锗化学分析方法的第部分已经发布了以下部分

GBT372113GBT37211

———:;

第部分砷含量的测定砷斑法

———:、、、、、、、、、;

第部分铝铁铜镍铅钙镁钴铟锌含量的测定电感耦合等离子体质谱法

———:。

第部分

定制服务

关联标准

同系列标准

GB 37211 第1部分

GB/T 37211.1-2018 金属锗化学分析方法第1部分：砷含量的测定砷斑法

第1部分现行

GB 37211 第2部分

GB/T 37211.2-2018 金属锗化学分析方法第2部分：铝、铁、铜、镍、铅、钙、镁、钴、铟、锌含量的测定电感耦合等离子体质谱法

第2部分现行

引用标准

GB/T 14264

GB/T 14264-2024 半导体材料术语

现行

GB/T 14264-1993 半导体材料术语

被代替

GB/T 14264-2009 半导体材料术语