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T/YGAZXH 12-2025 光伏电池工艺设备 等离子体增强化学气相沉积镀膜设备技术规范

T/YGAZXH 12-2025 The technical specifications for plasma enhanced chemical vapor deposition coating equipment used in photovoltaic cell processing

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/YGAZXH 12-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L 电子元器件与信息技术
国际标准分类号（ICS）
29.020 电气工程综合
发布日期
2025-07-16
实施日期
2025-08-01
发布单位/组织
-
归口单位
广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会
适用范围
主要技术内容:本文件给出了等离子体增强化学气相沉积镀膜设备工作环境和工作条件，规定了技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于生产钝化发射极和背面电池（PERC）、钝化发射极背表面全扩散电池（PERT）、隧穿氧化层钝化接触太阳能电池（TOPCon）和背接触电池（BC）等电池的PECVD镀膜设备的制造和检验

发布历史

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研制信息

起草单位：
拉普拉斯新能源科技股份有限公司、扬州大学、深圳大学、拉普拉斯(西安)科技有限责任公司、广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会、中标质检标准化技术（深圳）有限公司
起草人：
林佳继、张武、卢秋霞、孟长乐、王芹芹、昌国栋、梁笑、陈思思、陈小丽、许金金
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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