GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
GB/T 24577-2009 Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 24577-2009
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
1.1本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法，采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。1.2本标准描述了热解吸气相色谱仪（TD-GC）以及有关样品制备和分析的相关程序。
发布历史
-
2009年10月
研制信息
- 起草单位：
- 信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 起草人：
- 王奕、褚连青、李静
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：19 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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中华人民共和国国家标准
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热解吸气相色谱法测定
硅片表面的有机污染物
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２００９１０３０发布２０１００６０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
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犌犅犜２４５７７２００９
前言
本标准修改采用ＳＥＭＩＭＦ１９８２１１０３《热解吸附气相色谱法评估硅片表面有机污染物的方法》。
本标准对格式进行了相应调整。为了方便比较，在资料性附录中列出了本标准
ＳＥＭＩＭＦ１９８２１１０３Ｂ
章条和ＳＥＭＩＭＦ１９８２１１０３章条对照一览表。并对ＳＥＭＩＭＦ１９８２１１０３条款的修改处用垂直单线标
识在它们所涉及的条款的页边空白处。
本标准与ＳＥＭＩＭＦ１３８９０７０４相比，主要技术差异如下：
———去掉了“目的”
定制服务
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