GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

犐犆犛２９．０４５

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中华人民共和国国家标准

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犌犅犜２４５７７２００９

热解吸气相色谱法测定

硅片表面的有机污染物

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２００９１０３０发布２０１００６０１实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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犌犅犜２４５７７２００９

前言

本标准修改采用ＳＥＭＩＭＦ１９８２１１０３《热解吸附气相色谱法评估硅片表面有机污染物的方法》。

本标准对格式进行了相应调整。为了方便比较，在资料性附录中列出了本标准

ＳＥＭＩＭＦ１９８２１１０３Ｂ

章条和ＳＥＭＩＭＦ１９８２１１０３章条对照一览表。并对ＳＥＭＩＭＦ１９８２１１０３条款的修改处用垂直单线标

识在它们所涉及的条款的页边空白处。

本标准与ＳＥＭＩＭＦ１３８９０７０４相比，主要技术差异如下：

———去掉了“目的”