GB/T 42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法

GB/T 42191-2023 Test methods of the performances for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device

国家标准 中文简体 现行 页数:14页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 42191-2023
相关服务
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2023-05-23
实施日期
2023-09-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
本文件描述了MEMS压阻式压力敏感器件试验条件和试验方法。
本文件适用于MEMS压阻式压力敏感器件。

发布历史

研制信息

起草单位:
北京大学、中机生产力促进中心有限公司、北京智芯传感科技有限公司、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、厦门光莆电子股份有限公司、江门市润宇传感器科技有限公司、宁波志伦电子有限公司、广州奥松电子股份有限公司、华东光电集成器件研究所、深圳市美思先端电子有限公司、南京高华科技股份有限公司、中国科学院微电子研究所、湖南国天电子科技有限公司、南京沃天科技股份有限公司、广州广电计量检测股份有限公司、武汉飞恩微电子有限公司、深圳安培龙科技股份有限公司、昆山传感器测控技术有限公司
起草人:
张威、顾枫、李根梓、陈广忠、李宋、张亚婷、张良、陈立国、林瑞梅、李树成、茅曙、张宾、王鹏、李晓波、许宙、王玮冰、陈路、高峰、明志茂、曹万、陈君杰、王冰
出版信息:
页数:14页 | 字数:24 千字 | 开本: 大16开

内容描述

ICS31.080.99

CCSL59

中华人民共和国国家标准

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GBT421912023

MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法

TestmethodsoftheerformancesforMEMSiezoresistiveressure-sensitivedevice

ppp

2023-05-23发布2023-09-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT421912023

目次

前言…………………………Ⅰ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4试验条件及规定…………………………1

4.1大气条件……………1

4.2其他环境条件………………………2

4.3测试设备……………2

5试验项目及方法…………………………2

5.1试验项目……………2

5.2试验方法……………2

/—

GBT421912023

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分

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