GB/T 33922-2017 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法

ICS31.200

L55

中华人民共和国国家标准

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GBT339222017

MEMS压阻式压力敏感芯片性能的

圆片级试验方法

WaferleveltestmethodsforMEMSiezoresistiveressure-sensitive

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2017-07-12发布2018-02-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT339222017

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4试验条件…………………1

4.1大气条件……………1

4.2电磁条件……………2

4.3振动条件……………2

4.4测试系统……………2

5试验的一般规定…………………………2

5.1证书文件…