SJ/T 11883-2022 扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法
SJ/T 11883-2022 The calculation methods for heat balance, thermal efficiency, and comprehensive energy consumption of a diffusion furnace
行业标准-电子
简体中文
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
SJ/T 11883-2022
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
发布日期
2022-10-20
实施日期
2023-01-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
中国电子技术标准化研究院
适用范围
适用于扩散炉热平衡、热效率及综合能耗的计算。对于其他类型的电阻炉热平衡、热效率及综合能耗的计算可参考本文件
发布历史
-
2022年10月
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研制信息
- 起草单位：
- 中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、北京赛西认证有限责任公司、深圳赛西信息技术有限公司、青海大学、中国科学院电工研究所
- 起草人：
- 张生春、赵立华、程朝阳、吴秀祥、李梦辰、麻林瑞、李兴、冀晓洲、李春琦、杨立娜
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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