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GB/T 13387-2009 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法

GB/T 13387-2009 Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials

国家标准 中文简体 现行 页数：7页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 13387-2009
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H80/84 半金属与半导体材料
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
-

发布历史

文前页预览

GB/T 13387-2009 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法-第1页
GB/T 13387-2009 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法-第2页
GB/T 13387-2009 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法-第3页

研制信息

起草单位：
有研半导体材料股份有限公司
起草人：
杜娟、孙燕、卢立延
出版信息：
页数：7页 | 字数：11 千字 | 开本： 大16开

内容描述

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