GB/T 13387-2009 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法
GB/T 13387-2009 Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials
国家标准
中文简体
现行
页数：7页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
1992年02月
-
2009年10月
研制信息
- 起草单位：
- 有研半导体材料股份有限公司
- 起草人：
- 杜娟、孙燕、卢立延
- 出版信息：
- 页数：7页 | 字数：11 千字 | 开本： 大16开
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- YS/T 227.5-2010 碲化学分析方法 第5部分：硒量的测定 2,3-二氨基萘分光光度法 2010-11-22
- YS/T 239.2-2010 三硫化二锑化学分析方法 第2部分：化合硫量的测定 燃烧中和滴定法 2010-11-22
- YS/T 239.1-2010 三硫化二锑化学分析方法 第1部分：锑量的测定 硫酸铈滴定法 2010-11-22
- YS/T 227.4-2010 碲化学分析方法 第4部分：铁量的测定 邻菲啰啉分光光度法 2010-11-22
- YS/T 227.3-2010 碲化学分析方法 第3部分：铅量的测定 火焰原子吸收光谱法 2010-11-22
- YS/T 227.2-2010 碲化学分析方法 第2部分：铝量的测定 铬天青S-溴代十四烷基吡啶 胶束增溶分光光度法 2010-11-22
- YS/T 239.4-2010 三硫化二锑化学分析方法 第4部分：王水不溶物的测定 重量法 2010-11-22
- YS/T 227.7-2010 碲化学分析方法 第7部分：硫量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 2010-11-22
- YS/T 227.9-2010 碲化学分析方法 第9部分：碲量的测定 重铬酸钾-硫酸亚铁铵容量法 2010-11-22
- YS/T 227.6-2010 碲化学分析方法 第6部分：铜量的测定 固液分离-火焰原子吸收光谱法 2010-11-22