GB/T 30859-2014 太阳能电池用硅片翘曲度和波纹度测试方法

ICS77.040

H21GB

中华人民共和国国家标准

GB/T30859-2014

太阳能电池用硅片翘曲度和

波纹度测试方法

Testmethodforwarpandwavinessofsiliconwafersforsolarcells

2015-04-01实施

2014-07-24发布

中华人民共和国国家质量监督检验检菇总局

发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T30859-2014

前言

本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）及材料分技术委员会（SAC/TC

203/SC2）共同提出并归口。

本标准起草单位：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、有研半导体

材料股份有限公司。

本标准主要起草人：薛抗美、夏根平、孙燕、林清香、徐自亮、黄黎。

I

GB/T30859-2014

太阳能电池用硅片翘曲度和

波纹度测试方法

1范围

本标准规定了太阳能电池用硅片（以下简称硅片）翘曲度和波纹度的测试方法。

本标准适用于硅片翘曲度和波纹度的测试。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T35052009产品几何技术规范CGPS）表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数

GB/T6620硅片翘曲度非接触式测试方法

GB/T14264半导体材料术语

GB/T16747一2009产品几何技术规范CGPS）表面结构轮廓法表面波纹度词汇

GB/T18777产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法相位修正滤波器的计量特性

GB/Z26958（所有部分）产品几何技术规范CGPS）滤波

3术语和定义

GB/T35052009、GB/T14264、GB/T167472009、GB/T18777和GB/Z26958界定的术语和

定义适用于本文件。为了便于使用，以下重复列出了GB/T3505~2009和GB/T167472009中的某

些术语和定义。

3.1

轮廓滤波器profilefilter

把轮廓分成长波和短波成分的滤波器。在测量粗糙度、波纹度和原始轮廓的仪器中使用三种滤披

器，见图1。它们都具有GB/T18777规定的相同的传输特性，但截止波长不同。

[GB/T35052009，定义3.1.1]

3.2

人轮廓滤波器λ，profilefilter

确定存在于表面上的粗糙度与比它更短的波的成分之间相交界限的滤波器，见图L

[GB/T35052009，定义3.1.1.1]

3.3

人轮廓滤波器λcprofilefilter

确定粗糙度与波纹度成分之间相交界限的滤波器，见图la

[GB/T3505-2009，定义3.1.1.2]

3.4

λr轮廓滤波器λfprofilefilter

确定存在于表面上的披纹度与比它更长的波的成分之间相交界限的滤波器，见图L

GB/T30859-2014

[GB/T35052009，定义3.1.1.3]

100

豆豆

粗糙度轮廓

波纹度轮廓

、、、

戴

眼

重50

，、

A

人

'λf波长

图1粗糙度轮廓和波纹度轮廓的传输特性

3.5

实际表面realsurface

物体与周围介质分离的表面。实际表面是由粗糙度、波纹度和形状叠加而成的。

[GB/T167472009，定义3.1]

3.6

表面轮廓（实际轮廓）surfaceprofile(realprofile)

由一个指定平面与实际表面相交所得的轮廓。它由粗糙度轮廓、波纹度轮廓和形状轮廓构成。

[GB/T167472009，定义3.2]

3.7

原始轮廓primaryprofile

通过人轮廓滤波器后的总轮廓。

[GB/T35052009，定义3.1.5]

3.8

表面波纹度轮廓（波纹度轮廓）profileofsurfacewaviness(wavinessprofile)

对原始轮廓连续应用λf和人两个轮廓滤波器以后形成的轮廓。采用λf轮廓滤波器抑制长波成

分，而采用人轮廓滤波器抑制短波成分。这是经过人为修正的轮廓，见图20

[GB/T16747-2009，定义3.7]

波纹度轮廓

圄2波纹度轮廓示意图

3.9

分离实际表面轮廓成分的求值系统（滤波器）operator(filter)forseparatingtheprofile

componentoftherealsurface

GB/T30859-2014

通过预定的信息转换，对实际表面的轮廓成分进行分离的一种处理过程。实际上，该过程可用各种

不同的方式实现，对各种不同方式分离出的轮廓成分，应说明其方法离差。倘若总体轮廓含有所认为的

公称形状，就须用一个附加的预处理过程来消除该轮廓的形状部分。

[GB/T167472009，定义3.3]

常用的滤波器有高斯滤波器和最小二乘滤波器等。有关滤波器的更进一步的信息，可参

照GB/Z26958。

3.10

表面波纹度surfacewaviness

由间距比粗糙度大得多的、随机的或接近周期形式的成分构成的表面不平度。

波纹度通频带的极限由高斯滤波器的长波截止波长和短波截止波长之比λf：λc确定，若无特殊规

定，此比值通常为10:10

[GB/T167472009，定义3.6]

3.11

波纹度取样长度wavinesssamplinglength

用于判别波纹度轮廓的不规则特征的X