GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
GB/T 30868-2014 Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers—Chemically etching
基本信息
标准号
GB/T 30868-2014
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2014-07-24
实施日期
2015-02-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本标准规定了利用熔融氢氧化钾腐蚀法测定碳化硅单晶微管密度的方法。
本标准适用于碳化硅单晶微管密度的测定。
本标准适用于碳化硅单晶微管密度的测定。
发布历史
-
2014年07月
-
2025年08月
研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院
- 起草人：
- 丁丽、周智慧、郝建民、蔺娴、何秀坤、刘筠、冯亚彬、裴会川
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：10 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS29.045
H83
中华人民共和国国家标准
/—
GBT308682014
碳碳化硅单晶片微管密度的测定
化学腐蚀法
Testmethodformeasurinmicroiedensitofmonocrstallinesilicon
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—
carbidewafersChemicalletchin
yg
2014-07-24发布2015-02-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
中华人民共和国
国家标准
碳化硅单晶片微管密度的测定
化学腐蚀法
/—
GBT308682014
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中国标准出版社出版发行
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