GB/T 6616-2023 半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法

ICS77.040

CCSH21

中华人民共和国国家标准

/—

GBT66162023

代替/—

GBT66162009

半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层

电阻的测试非接触涡流法

Testmethodforresistivitofsemiconductorwafersandsheetresistanceof

y

—

semiconductorfilmsNoncontactedd-currentaue

ygg

2023-08-06发布2024-03-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT66162023

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

本文件代替/—《半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法非接触涡流法》,

GBT66162009

/—,,:

与GBT66162009相比除结构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

)(,);

更改了范围见第章年版的第章

a120091

)(,);

更改了干扰因素见第章版的第章

b520095

)(,);

更改了试验条件见第章年版的

c