T/ZGM 013-2023 半导体行业超纯水制备用电去离子膜堆产品认证技术要求
T/ZGM 013-2023 The technical requirements for the certification of electric deionization membrane stack products used for the preparation of ultra-pure water in the semiconductor industry
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ZGM 013-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-10-11
实施日期
2023-10-18
发布单位/组织
-
归口单位
中国膜工业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了半导体行业超纯水制备用的电去离子膜堆组件认证的技术要求、试验方法
发布历史
-
1970年01月
-
2022年11月
-
2023年10月
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研制信息
- 起草单位：
- 上海明坤水处理设备有限公司、杭州蓝然技术股份有限公司、华东理工大学、杭州科百特过滤器材有限公司、黄河水利职业技术学院
- 起草人：
- 张志愿、朱春燕、魏永明、贾建东、陈星、张优慰、程亮、王宸
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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