GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
GB/T 28276-2012 Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for dissolved wafer process
国家标准
中文简体
现行
页数：14页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2012-05-11
实施日期
2012-12-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。
本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。
本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。
发布历史
-
2012年05月
研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团第十三研究所、中机生产力促进中心、北京大学、中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 起草人：
- 崔波、罗蓉、刘伟、张大成、熊斌、陈海蓉
- 出版信息：
- 页数：14页 | 字数：22 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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