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YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

YS/T 839-2012 Test method for measurement of insulator thickness and refractive index on silicon substrates by ellipsometry

行业标准-有色金属 中文简体 现行 页数：10页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 839-2012
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H68 贵金属及其合金
国际标准分类号（ICS）
77.120.99 其他有色金属及其合金
发布日期
2012-11-07
实施日期
2013-03-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
1.1本方法规定了用椭圆偏振测试方法测量生长或沉积在硅衬底上的绝缘体薄膜厚度及折射率的方法。
1.2本方法适用于薄膜对测试波长没有吸收和衬底对测试波长处不透光、且已知测试波长处衬底折射率和消光系数的绝缘体薄膜厚度及折射率的测量。对于非绝缘体薄膜，满足一定条件时,方可采用本方法。

发布历史

文前页预览

YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法-第1页
YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法-第2页
YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法-第3页
YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法-第4页

研制信息

起草单位：
中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司
起草人：
高英、武斌、孙燕、徐继平、徐自亮、黄黎
出版信息：
页数：10页 | 字数：17 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS77.120.99

H68

中华人民共和国有色金属行业标准

/—

YST8392012

硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率

的椭圆偏振测试方法

Testmethodformeasurementofinsulatorthickness

andrefractiveindexonsiliconsubstratesbellisometr

ypy

2012-11-07发布2013-03-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

中华人民共和国有色金属

行业标准

硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率

的椭圆偏振测试方法

/—

YST8392012

*

中国标准出版社出版发行

北京市朝阳区和平里西街甲号()

2100013

北京市西城区三里河北街号()

16100045

网址:

g

服务热线:

010-68522006

年月第一版

20132

*

书号:·

1550662-24299

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