T/SZCA 2-2021 洁净生产车间环境在线监测技术规程

ICS35240

C50.

团体标准

T/SZCA2—2021

洁净生产车间环境在线监测技术规程

Technicalspecificationforcleanroomenvironmenton-linemonitoring

2021-03-27发布2021-06-19实施

深圳市洁净行业协会

联合发布

深圳市计量质量检测研究院

深圳市洁净行业协会团体标准

洁净生产车间环境在线监测技术规程

Technicalspecificationforcleanroomenvironmenton-linemonitoring

T/SZCA2—2021

主编单位深圳市中明科技股份有限公司

:

发布机构深圳市洁净行业协会

:

深圳市计量质量检测研究院

实施日期年月日

:20210619

中国标准出版社

2021年北京

深圳市洁净行业协会

团体标准

洁净生产车间环境在线监测技术规程

T/SZCA2—2021

*

中国标准出版社出版发行

北京市朝阳区和平里西街甲号

2(100029)

北京市西城区三里河北街号

16(100045)

网址

:

服务w热w线

:400-168-0010

年月第一版

20213

*

书号

:155066·5-2990

版权专有侵权必究

关于联合发布深圳市洁净行业协会团体标准

《洁净生产车间环境在线监测技术规程》的通知

深洁协〔〕号

202109

现批准由深圳市中明科技股份有限公司主编的洁净生产车

《

间环境在线监测技术规程为深圳市洁净行业协会团体标准编号

》,

为自年月日起实施

T/SZCA2—2021,20210619。

本规程在国家标准化管理委员会的全国团体标准信息平台

深圳市标准信息平台深圳

()、()、

市洁净行业协会官方网站和深圳市计量质

()

量检测研究院官方网站公

(/Web/index.aspx)

开由深圳市洁净行业协会委托中国标准出版社出版发行

,。

深圳市洁净行业协会

深圳市计量质量检测研究院

年月日

20210327

前言

根据深圳市洁净行业协会年月日关于洁净生产车

202091《

间环境在线监测技术规程的批复的要求由深圳市中明科技股份

》,

有限公司主编并会同有关单位共同编制了本规程

,。

本规程整合了行业著名的科研机构知名的高校和领先的企

、

业等优势资源参与规程的编制工作保证了规程的编制质量在

,。

编制过程中编委会进行了广泛深入的调查研究认真总结实践经

,,

验吸收国内外相关标准和先进技术经验并在广泛征求意见的基

,,

础上通过反复讨论修改与完善形成了征求意见稿于年

,、,,2021

月公开上网征求意见于年月经审查专家委员会审查

1,20212

定稿

。

根据年月日科学技术部西南信息中心查新中心对

20200512

本规程出具的科技查新报告和年月日送审稿评审会议纪

202122

要给予本规程的评价本规程对打通洁净室内质量全过程控制的

,

最后一公里填补行业空白具有很强的实用性规范洁净生产

“”,,;

车间环境的监测与管理建造符合洁净物品生产标准的空间环境

,,

实时掌握生产车间环境指标参数降低运行风险符合国家相关部

,,

门对洁净生产车间环境监测总体原则也顺应洁净生产车间环境

,

在线监测市场总体需求

。

本规程的主要内容包括总则术语设计洁净生产车间基本

:、、、

要求洁净生产车间监测系统组成仪器设备及终端施工安装基

、、、、

本要求系统调试竣工验收维护与保养等

、、、。

本规程某些内容涉及知识产权的具体技术问题使用者可直

,

接与本规程有关知识产权的持有者协商处理本规程的发布机构

,

·Ⅰ·

不承担识别这些专利的责任

。

本规程由深圳市洁净行业协会深圳市计量质量检测研究院

、

联合发布并负责解释执行过程中如有意见或建议请寄深圳市洁

,,

净行业协会地址深圳市福田保税区市花路号富林大厦座

(:21B

室邮编

411,:518000,E-mail:admin@)。

本规程主编单位参编单位审查专家单位主要审查人员主

、、、、

要起草人员如下排名不分先后

():

主编单位深圳市中明科技股份有限公司

:

参编单位中国电子系统工程第二建设有限公司

:

深圳市建筑设计研究总院有限公司

广西安圣检测技术有限公司

深圳市亿天净化技术有限公司

深圳市科斯莱环境科技实业有限公司

傲通环球环境控制深圳有限公司

()

东莞市华连净化设备有限公司

深圳市亿天源环境科技有限公司

略阳朗意医疗科技有限公司

审查专家单位上海海事大学静电技术研究所

:

中国建筑科学研究院

中国科学院深圳先进技术研究院

中国医学救援协会救援物资保障分会

同济大学

世源科技工程有限公司

深圳市建筑设计研究总院有限公司

深圳市洁净行业协会洁净行业标准专业委员会

深圳市洁净行业协会静电防护技术专业委员会

深圳市洁净行业协会智慧绿色节能技术专业委员会

深圳市洁净行业协会洁净工程技术专业委员会

深圳市洁净行业协会洁净设备与材料专业委员会

·Ⅱ·

广西制冷学会净化专业委员会

主要审查人员张利群孙可平沈晋明秦学礼肖红梅

:

刘燕敏蔡杰刘俊杰陈霖新刘铁东

林正刚马俊杰王惠芳梁静君赖心田

孙娟萍张鹏赵海涛胡小海石勇刚

主要起草人员韩玲玲刘建军杨杨申华东夏群艳

:

刘晓清吴水田张联盟杨旭代希林

鲁建政王石传梁敏兆唐智刘明生

郭非杨洋管毅梁静升蔡怀宏

·Ⅲ·

目次

总则

1………(1)

术语

2………(2)

设计

3………(3)

一般规定

3.1………………(3)

布点原则

3.2………………(3)

洁净生产车间基本要求

4…………………(5)

一般规定

4.1………………(5)

环境静电监测及防护接地

4.2、………………(5)

潜在环境破坏因素及分析

4.3………………(5)

洁净生产车间环境监测指标

4.4……………(6)

洁净生产车间监测系统组成

5……………(7)

管理及监控系统

5.1………(7)

数据同步服务系统

5.2………(8)

数据处理系统

5.3…………(8)

数据采集及远程控制系统

5.4………………(8)

通信系统

5.5………………(8)

系统扩展说明

5.6…………(8)

仪器设备及终端

6、………(9)

仪器设备监控终端组成

6.1、、………………(9)

网关及监控终端设备要求

6.2………………(10)

洁净生产车间环境监控终端设备基本要求

6.3………………(10)

施工安装基本要求

7………(11)

系统调试

8…………………(12)

竣工验收

9…………………(13)

维护与保养

10……………(14)

监测数据备份规程

10.1……(14)

·Ⅴ·

在线监测设备定期保养及校准制度

10.2……(14)

健全维护保养记录

10.3……(14)

本规程用词说明

……………(15)

引用文件名录

………………(16)

附录洁净等级划分参考表

A……………(17)

附录在线监测数理统计与分析表

B………(19)

·Ⅵ·

Contents

1General…………………(1)

2Terms……………………(2)

3Design……………………(3)

3.1Generalprovisions………(3)

3.2Stationingprinciple……(3)

4Basicrequirementsforcleanproductionworkshop…(5)

4.1Generalprovisions………(5)

4.2Environmentalelectrostaticmonitoringandprotection、electrical

grounding………(5)

4.3Potentialenvironmentfailurefactorandanalyzing………(5)

4.4Cleanproductionworkshopenvironmentmonitoringindex………

……………(6)

5Formationofcleanproductionworkshopenvironmentalmoni-

toringsystems………………(7)

5.1Supervisingandmonitoringsystems……(7)

5.2Datasyncservicesystems………………(8)

5.3Dataprocessingsystems………………(8)

5.4Dataacquisitionandremotecontrolsystems……………(8)

5.5Communicationsystems…………………(8)

5.6Instructionofsystemextension…………(8)

6Instrument、equipmentandterminal…(9)

6.1Instrument、equipmentandmonitoringterminalcomposed………

……………(9)

6.2Gatewayandmonitoringterminalrequirements…………(10)

6.3Cleanproductionworkshopenvironmentalmonitoringterminalbasic

requirements……………………(10)

7Basicrequirementsforconstructionandinstallation………

……………(11)

·Ⅶ·

8Systemdebugging………(12)

9Projectacceptance………(13)

10Operationandmaintenance…………(14)

10.1Monitoringdatabackupregulations……(14)

10.2On-linemonitoringequipmentperiodicmaintenanceandcalibration

regulations……………………(14)

10.3Perfectoperationandmaintenancerecords………………(14)

Explanationofwordinginthiscode………(15)

Listofquoteddocuments…………………(16)

AnnexAReferencetableforcleaninggrade……………(17)

AnnexBTableforon-linemonitoringstatisticsandanalysis

……………(19)

·Ⅷ·

1总则

101为规范洁净生产车间环境的监测与管理建造符合洁净物

..,

品生产标准的空间环境实时掌握生产车间环境指标参数降低运

,,

行风险特制定本规程

,。

102本规程适用于洁净物品生产空间的环境监测如食品化

..,:、

工普通电子等行业精密电子制药行业生产空间可参照执行涉

、;、;

及易燃易爆类产品生产环境不适用本规程

。

103洁净生产车间环境安全监测应针对整体生产车间的破坏模

..

式进行并应对安全监测发现的问题及时反馈

,。

104监测仪器设备安装前应进行检测校准测量仪表应定期

..,、,

检定校准

、。

105洁净生产车间的环境监测应实现离线在线云端等形式的

..、、

数据显示及安全状态报告

。

106洁净生产车间的环境监测除应符合本规程外尚应符合国

..,

家现行有关标准的规定

。

·1·