GB/T 32280-2022 硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法
GB/T 32280-2022 Test method for warp and bow of silicon wafers—Automated non-contact scanning method
国家标准
中文简体
现行
页数：14页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 32280-2022
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2022-03-09
实施日期
2022-10-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本文件描述了利用两个探头在硅片表面自动非接触扫描测试硅片的翘曲度和弯曲度的方法。
本文件适用于直径不小于50 mm，厚度不小于100 μm的洁净、干燥的硅片，包括切割、研磨、腐蚀、抛光、外延、刻蚀或其他表面状态的硅片，也可用于砷化镓、碳化硅、蓝宝石等其他半导体晶片翘曲度和弯曲度的测试。
本文件适用于直径不小于50 mm，厚度不小于100 μm的洁净、干燥的硅片，包括切割、研磨、腐蚀、抛光、外延、刻蚀或其他表面状态的硅片，也可用于砷化镓、碳化硅、蓝宝石等其他半导体晶片翘曲度和弯曲度的测试。
发布历史
-
2015年12月
-
2022年03月
研制信息
- 起草单位：
- 有研半导体硅材料股份公司、山东有研半导体材料有限公司、合肥中南光电有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、浙江海纳半导体有限公司、上海合晶硅材料股份有限公司、开化县检验检测研究院、天津中环领先材料技术有限公司、义乌力迈新材料有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司
- 起草人：
- 孙燕、蔡丽艳、贺东江、李素青、王可胜、徐新华、张海英、王振国、潘金平、曹雁、楼春兰、张雪囡、皮坤林
- 出版信息：
- 页数：14页 | 字数：28 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.040
CCSH21
中华人民共和国国家标准
/—
GBT322802022
代替/—
GBT322802015
硅片翘曲度和弯曲度的测试
自动非接触扫描法
—
Testmethodforwarandbowofsiliconwafers
p
Automatednon-contactscanninmethod
g
2022-03-09发布2022-10-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
中华人民共和国
国家标准
硅片翘曲度和弯曲度的测试
自动非接触扫描法
/—
GBT322802022
*
中国标准出版社出版发行
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