GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范

ICS29.045

H80

中华人民共和国国家标准

/—

GBT165962019

代替/—

GBT165961996

确定晶片坐标系规范

Secificationforestablishinawafercoordinatesstem

pgy

2019-03-25发布2020-02-01实施

国家市场监督管理总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT165962019

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

/—《》。/—,

本标准代替GBT165961996确定晶片坐标系规范与GBT165961996相比除编辑性修

改外主要技术变化如下:

———/、,/

规范性引用文件中删除了和增加了和

GBT12964SEMIM12SEMIM13GBT34479

/(,);

见第章年版的第章

YST986219962

———“”();

增加了晶片坐标系的建立原则见第章

3

———“”“”(、);

增加了晶片背面坐标系和三维坐标系见4.24.3

———“”(、);

删除了晶片坐标系的应用及有关内容中的和见年版的

4.1.14.1.21996.2

———“,,

增加了在SEMIM1中用边缘轮廓模板建立的边缘参考坐标系用于边缘的参照其与本晶

。,:……”“

片坐标系不同边缘轮廓模板和边缘轮廓参数使用不同的坐标系具体如下在某些情

,”“,

况下无图形的晶片表面不易区分正面和背面对晶片的直径没有特殊规定但对于自动设

,”(、、)。

备可能只接收标称直径的晶片等内容见

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)与全国半导体设备和材料标准

SACTC203

化技术委员会材料分技术委员会(//)共同提出并归口。

SACTC203SC2

:、、、

本标准起草单位有色金属技术经济研究院有研半导体材料有限公司浙江海纳半导体有限公司

、。

浙江省硅材料质量检验中心上海合晶硅材料有限公司

:、、、、、、。

本标准主要起草人卢立延孙燕潘金平杨素心楼春兰胡金枝李素青

本标准所代替标准的历次版本发布情况为:

———/—。

GBT165961996

Ⅰ

/—

GBT165962019

确定晶片坐标系规范

1范围

、。

本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系背面坐标系和三维坐标系的程序

。、

本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷颗

粒等测试结果的准确位置。

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

/晶片通用网格规范

GBT16595

/硅片字母数字标志规范

GBT34479

/