GB/T 16595-2019 晶片通用网格规范

ICS29.045

H80

中华人民共和国国家标准

/—

GBT165952019

代替/—

GBT165951996

晶片通用网格规范

Secificationforauniversalwaferrid

pg

2019-03-25发布2020-02-01实施

国家市场监督管理总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT165952019

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

/—《》。/—,

本标准代替GBT165951996晶片通用网格规范与GBT165951996相比除编辑性修改

外主要技术变化如下:

———“,

增加了适用范围本标准适用于标称直径100mm~200mm的硅片也适用于其他半导体材

”();

料晶片见第章

1

———“”(,);

将第章范围中的部分内容列入网格的应用见第章年版的第章

15519961

———/、/、、、,

删除了规范性引用文件中的GBT1554YST209SEMIM1SEMIM2SEMIM11增加了

/