YS/T 986-2014 晶片正面系列字母数字标志规范

YS/T 986-2014 Specification for serial alphanumeric marking of the front surface of wafers

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基本信息

标准号

YS/T 986-2014

标准类型

行业标准-有色金属

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

H80/84 半金属与半导体材料

国际标准分类号（ICS）

29.045 半导体材料

发布日期

2014-10-14

实施日期

2015-04-01

发布单位/组织

中华人民共和国工业和信息化部

归口单位

全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

适用范围

本标准定义了标记包括字母数字的几何尺寸和空间位置尤其适用于带参考面和带缺口的硅抛光片。
本标准不涉及制作标记的技术。

发布历史

2014年10月

YS/T 986-2014　晶片正面系列字母数字标志规范

当前标准现行 2014-10-14

文前页预览

研制信息

起草单位：: 有研半导体材料股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司、万向硅峰电子股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司

起草人：: 张静、边永智、孙燕、鲁进军、楼春兰、王飞尧、何良恩、张海英

出版信息：: 页数：11页 | 字数：20 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS29.045

H80

中华人民共和国有色金属行业标准

/—

YST9862014

晶片正面系列字母数字标志规范

Secificationforserialalhanumericmarkinofthefrontsurfaceofwafers

ppg

2014-10-14发布2015-04-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

/—

YST9862014

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准使用翻译法等同采用SEMIM12-0706《晶片正面系列字母数字标志规范》。

(/)。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会SACTC243归口

:、、

本标准起草单位有研半导体材料股份有限公司杭州海纳半导体有限公司万向硅峰电子股份有

定制服务

关联标准

引用标准

SEMI M13

SEMI AUX001

SEMI AUX015

采用标准

SEMI M12-0706

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