GB/T 42720-2023 电子特气六氯乙硅烷

GB/T 42720-2023 Electronic specialty gas—Hexachlorodisilane

国家标准中文简体现行页数：14页 | 格式：PDF

基本信息

标准号

GB/T 42720-2023

发布历史

2023年08月

GB/T 42720-2023　电子特气六氯乙硅烷

当前标准现行 2023-08-06

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研制信息

起草单位：: 洛阳中硅高科技有限公司、昊华气体有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、湖州市南浔区佰通标准化研究院、广东华特气体股份有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、北京高麦克仪器科技有限公司、浙江博瑞电子科技有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、湖北和远气体股份有限公司、三峡大学、内蒙古兴洋科技股份有限公司、福建德尔科技股份有限公司、宁夏胜蓝化工环保科技有限公司、武汉新硅科技潜江有限公司、太和气体(荆州)有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、中国计量科学研究院、宿州伊维特新材料有限公司、联雄投资(上海)有限公司、南大光电半导体材料有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、空气化工产品(中国)投资有限公司、浙江炬和科技有限公司、绍兴科艺标准技术咨询有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、衢州杭氧特种气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司

起草人：: 万烨、王娟、张园园、付梦月、严大洲、郭琼、陈海宝、魏东亮、柳彤、沙婷、曹素英、陈辉、张天泽、廖恒易、陈艳珊、金向华、孙猛、傅铸红、欧基友、牛艳东、刘丽娜、张广第、马彬淇、杜大艳、曹小林、方强、袁有录、陶刚义、杨华志、华祥斌、李纪明、沈俊、李楷东、阳辉、汪正宏、常侠、罗旭、陈洁、吴靓、方华、孙小伟、姚显章、李春华、姜阳、尹冬梅、胡树国、秦远望、何波、杨康、黄辉、陈德义、王晶、李倩、董硕、顾大正、宫兵、王大为、杨利、钱叶超、吴乾康、梁永强、梁成科、高静、毛玲玲、马昌宁、赵刚、赖晓峰、周鹏云