适用范围：本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。分子式：WF6。分子量：297.830 419 2（按2009年国际相对原子质量计算）。

适用范围：本标准规定了混合气体气瓶充装前的检查与处理、充装过程控制、充装记录以及气瓶的充装标志、运输和贮存等基本要求。本标准适用于作为金属焊接、电子、电光源、激光切割等工业用混合气体的气瓶充装。本标准不适用于作为标准物质使用的混合气体的气瓶充装。

适用范围：本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备，并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品，以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。分子式：C3F8。相对分子质量：188.017（按2011年国际相对原子质量）。

适用范围：本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。 本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。 分子式：GeH4。 相对分子质量：76.662（按2011年国际相对原子质量计算）。

适用范围：本标准规定了 C4 混合液的要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存、交货验收。 本标准适用于以 C4 残液为原料，添加气化剂、催化剂、除炭剂等，经加工制成的 C4 混合液。

适用范围：本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料，也是生产多晶硅的重要原料。分子式：SiF4。相对分子质量：104.0786128（按2009年国际原子相对质量）。

适用范围：本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。分子式：SF6。相对分子质量：146.0564192（按2007年国际相对原子质量计算）。

适用范围：本标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。 本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域。 分子式：Cl2。 相对分子质量：70.90（按2009年国际相对原子质量计算）。

适用范围：本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。本标准适用于以工业氯化氢为原料，采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式：HCl。相对分子质量：36.458（按2009年国际相对原子质量计算）。

适用范围：GB/T 5275的本部分规定了动态体积法制备混合气体所涉及的校准方法，并简要介绍了动态体积法制备技术的部分实例。关于动态体积法制备技术在GB/T 5275的其他部分有更详细的描述。

适用范围：本标准规定了纯氖和高纯氖的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全警示等。 本标准适用于以深冷法提取的纯氖和高纯氖，主要用于霓虹灯及作为电子工业的填充介质,也用于激光技术、高能物理、混合气配制。 分子式：Ne。 相对分子质量：20.1797（按2009年国际相对原子质量）。

适用范围：GB/T 5275的本部分详细阐述了使用市售热式质量流量控制器利用纯气或混合气连续制备含两种或多种组分的校准混合气体的方法。 使用本方法制备校准混合气体所能达到的最好水平如下：相对测量扩展不确定度（由合成标准不确定度乘以包含因子k=2得到）Ｕ不大于2%。 如使用预混合气体代替纯气，可制备摩尔分数低于10-6的混合气体。质量流量的测量不是绝对的，质量流量控制器需要单独校准。 这种制备方法的优点是可连续制备大量混合气体，并且只要使用适当数量的热式质量流量控制器，就可像制备二元混合气体一样方便地制备多组分混合气体。

适用范围：GB/T 5275的本部分规定了通过临界锐孔系统用纯气或混合气连续制备两种或多种组分的校准混合气体的方法。通过选择适合的锐孔组合并配合纯气的使用，校准组分在校准混合气体中的体积分数可以以104为系数变化。另外通过改变锐孔系统的初始压力可使校准组分的体积分数以102为系数变化。临界锐孔法的不确定度主要取决于流量校准方法、温度变化以及出口压力。二元混合气体可得到的体积分数相对扩展不确定度（在包含因子k=2时）为3% 。 使用预混气体而不是纯气可制备体积分数低得多的混合气体（参见附录Ａ）。确定质量或体积分数的质量流量或体积流量，可通过计算得出，也可采用ISO 61451给出的适当方法单独测量。 这种制备方法的优点是可连续制备大量混合气体，并且只要使用适当数量的锐孔，制备多组分混合气体就如制备二元混合气体一样容易。流量范围可从每分钟几毫升到每分钟10 L。 本方法特别适用于在大气压力下制备混合气体，但也可在高于大气压的压力下制备混合气体。 使用本方法的实用提示参见附录B。

适用范围：GB/T 5275的本部分规定了通过用电化学法生成校准组分并将其引入载气流制备校准混合气体的方法。通过改变气体流量或改变通过电解池的电荷即可改变混合气体的组成。校准混合气体含量的相对扩展不确定度U由相对合成标准不确定度乘以包含因子k=2得到，其值不大于5%。 本部分规定的制备方法多用于制备体积分数范围在0.1×10-6～250×10-6之间的校准用混合气体。

适用范围：本部分规定了通过扩散法制备摩尔分数在10-9～10-3范围内的校准用混合气体的动态法。本方法的相对扩展不确定度U，其值不超过±2%，由合成标准不确定度乘以包含因子（k=2）得到。 若扩散源和使用位置间的管路很短，则扩散法可用于制备沸点在40 ℃～160 ℃范围内的室温下为液态有机组分的低浓度校准用混合气体。 本部分规定的扩散法，不仅适用于制备与大气环境和室内空气中浓度相当的多种烃类的校准用混合气体，也适用于制备低浓度的水混合气体。

适用范围：本标准规定了工业六氟化硫的要求、检验规则、试验方法、包装、标志、贮运及安全警示等。 本标准适用于氟与硫直接反应并经过精制的工业六氟化硫。该产品主要用作电力工业、冶金行业和气象部门等。 分子式：SF6。 相对分子质量：146.050 419 2(按2009年国际相对原子质量)。