GB/T 42897-2023 微机电系统(MEMS)技术硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

GB/T 42897-2023 Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS

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基本信息

标准号

GB/T 42897-2023

发布历史

2023年08月

GB/T 42897-2023　微机电系统(MEMS)技术硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

当前标准现行 2023-08-06

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研制信息

起草单位：: 北京大学、中机生产力促进中心有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京燕东微电子科技有限公司、厦门市智慧健康研究院有限公司、宁波瑞成包装材料有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、无锡韦感半导体有限公司、广州奥松电子股份有限公司、江门市润宇传感器科技有限公司

起草人：: 张大成、杨芳、李根梓、顾枫、刘鹏、李凤阳、王旭峰、高程武、陈艺、于志恒、华璇卿、刘若冰、张彦秀、王清娜、邵峥、李强、宏宇、赵成龙、张宾、李海全

出版信息：: 页数：10页 | 字数：13 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS31.200

CCSL59

中华人民共和国国家标准

/—

GBT428972023

微机电系统()技术

MEMS

硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

()—

Micro-electromechanicalsstemsMEMStechnolo

ygy

Tensilestrenthtestmethodfornano-scalemembranesofsiliconbasedMEMS

2023-08-06发布2023-12-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT428972023

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4试验要求…………………1

5试验方法…………………3

()………

附录资料性推荐形变量标尺结构及其指示数值读取方法

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