GB/T 42897-2023 微机电系统(MEMS)技术硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

GB/T 42897-2023 Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS

国家标准中文简体现行页数：10页 | 格式：PDF

基本信息

标准号

GB/T 42897-2023

标准类型

国家标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

L59 微型组件

国际标准分类号（ICS）

31.200 集成电路、微电子学

发布日期

2023-08-06

实施日期

2023-12-01

发布单位/组织

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

归口单位

全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

适用范围

本文件描述了硅基MEMS加工过程中所涉及的纳米厚度膜轴向抗拉强度原位试验的要求和试验方法。本文件适用于采用微电子工艺制造的纳米厚度膜抗拉强度测试。

发布历史

2023年08月

GB/T 42897-2023　微机电系统(MEMS)技术硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

当前标准现行 2023-08-06

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研制信息

起草单位：: 北京大学、中机生产力促进中心有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京燕东微电子科技有限公司、厦门市智慧健康研究院有限公司、宁波瑞成包装材料有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、无锡韦感半导体有限公司、广州奥松电子股份有限公司、江门市润宇传感器科技有限公司

起草人：: 张大成、杨芳、李根梓、顾枫、刘鹏、李凤阳、王旭峰、高程武、陈艺、于志恒、华璇卿、刘若冰、张彦秀、王清娜、邵峥、李强、宏宇、赵成龙、张宾、李海全

出版信息：: 页数：10页 | 字数：13 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS31.200

CCSL59

中华人民共和国国家标准

/—

GBT428972023

微机电系统()技术

MEMS

硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

()—

Micro-electromechanicalsstemsMEMStechnolo

ygy

Tensilestrenthtestmethodfornano-scalemembranesofsiliconbasedMEMS

2023-08-06发布2023-12-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT428972023

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4试验要求…………………1

5试验方法…………………3

()………

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