GB/T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

ICS31.200

L55

中华人民共和国国家标准

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GBT384472020

微机电系统()技术

MEMS

MEMS结构共振疲劳试验方法

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Micro-electromechanicalsstemtechnoloFatiuetestinmethodof

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MEMSstructureusinresonantvibration

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2020-03-06发布2020-07-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT384472020

目次

前言…………………………Ⅰ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4试验方法…………………1

4.1总则…………………1

4.2试验设备……………1

4.3试验环境……………2

4.4样品要求……………2

4.5试验条件……………3

4.6试验步骤……