GB/T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
GB/T 38447-2020 Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
国家标准
中文简体
现行
页数：18页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2020-03-06
实施日期
2020-07-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。
发布历史
-
2020年03月
研制信息
- 起草单位：
- 北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司
- 起草人：
- 张威、张亚婷、于振毅、陆学贵、朱悦、石云波、李海斌、程逸轩、周浩楠、陈得民
- 出版信息：
- 页数：18页 | 字数：32 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS31.200
L55
中华人民共和国国家标准
/—
GBT384472020
微机电系统()技术
MEMS
MEMS结构共振疲劳试验方法
—
Micro-electromechanicalsstemtechnoloFatiuetestinmethodof
ygygg
MEMSstructureusinresonantvibration
g
2020-03-06发布2020-07-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT384472020
目次
前言…………………………Ⅰ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
4试验方法…………………1
4.1总则…………………1
4.2试验设备……………1
4.3试验环境……………2
4.4样品要求……………2
4.5试验条件……………3
4.6试验步骤……
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