GB/T 33555-2025 洁净室及相关受控环境 静电控制技术要求

ICS1304035

CCSC.70.

中华人民共和国国家标准

GB/T33555—2025

代替GB/T33555—2017

洁净室及相关受控环境

静电控制技术要求

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Technicalrequirementsofelectrostaticcontrol

2025-04-25发布2025-11-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T33555—2025

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

静电来源和危害

4…………………………3

技术要求

5…………………4

附录资料性静电来源与控制要素

A()…………………8

附录资料性技术措施

B()………………10

附录资料性防静电地面类型

C()………………………13

附录资料性分级或分类

D()EPA……………………14

附录资料性防静电设备和工具性能

E()………………15

参考文献

……………………16

Ⅰ

GB/T33555—2025

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替洁净室及相关受控环境静电控制技术指南与

GB/T33555—2017《》,GB/T33555—

相比除结构性调整和编辑性改动外主要技术内容变化如下

2017,,:

更改了适用范围见第章年版的第章

a)(1,20171);

更改了术语静电控制静电放电静电耗散材料的定义见和年版的

b)“”“”“”(3.1、3.43.13,2017

和

3.4、3.53.1);

删除了静电场等术语见年版的和

c)(20173.2、3.3、3.63.7);

增加了术语静电放电敏感的静电吸引防静电工作区静电感应静电起电孤立导

d)“()”“”“”“”“”“

体工作表面洁净室适用性围护结构离子化静电消除器等电位联结的定义见

”“”“”“”“”“”(3.2、

3.3、3.5、3.6、3.7、3.8、3.9、3.10、3.11、3.12、3.14);

更改静电控制为静电来源和危害见第章年版的第章

e)“”“”(4,20174);

更改了静电来源危害及监测中有关内容见年版的

f)“、”(4.1、4.2,20174.1);

删除了控制见年版的

g)“”(20174.2);

删除了控制措施见年版的

h)“”(20174.3);

更改培训与规范为技术要求见第章年版的第章

i)“”“”(5,20175);

更改为一般要求人员工作表面环境和区域见

j)5.1、5.2、5.3、5.4“”“”“”“”(5.1、5.2、5.3、5.4,

年版的

20175.1、5.2、5.3、5.4);

增加了设备及工具产品包装转运和储存监测和检测见

k)“”“ESDS、”“”(5.5、5.6、5.7)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC319)。

本文件起草单位中国电子工程设计院股份有限公司中冶天工集团有限公司深圳市中测计量检

:、、

测技术有限公司深圳市中明科技股份有限公司中国标准化协会中电投工程研究检测评定中心有限

、、、

公司中国电子技术标准化研究院深圳凯仕德科技有限公司北京东方计量测试研究所中国电子系统

、、、、

工程第二建设有限公司中国电子系统工程第四建设有限公司北京戴纳实验科技股份有限公司中国

、、、

电子系统工程第三建设有限公司亚翔系统集成科技苏州股份有限公司厦门永平堂建筑材料有限公

、()、

司北京中邦兴业科技有限公司河北科华防静电地板制造有限公司惠瑞净化科技江苏有限公司

、、、()、

柏诚系统科技股份有限公司仲恺农业工程学院华星光电技术有限公司合肥晶合集成电路股份

、、TCL、

有限公司长鑫集电北京存储技术有限公司

、()。

本文件主要起草人谭军王天羿杨光明孙思宇高志良郝胤博马全丽郭凯徐巍巍张志坚

:、、、、、、、、、、

丁力行奚晓鹏青曙萍许京哲霍金鹏韩辉修东升孙硕韩金贵韩玲玲向炜吕光帅杨楚鹏

、、、、、、、、、、、、、

叶为张志麒黄家洋

、、。

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为

:

年首次发布为

———2017GB/T33555—2017;

本次为第一次修订

———。

Ⅲ

GB/T33555—2025

引言

静电是洁净室及相关受控环境中常见污染源之一静电吸引可造成污染物集聚污染洁净环境影

。,,

响产品质量和人员健康静电放电会对洁净环境中静电敏感设备产品造成危害并且给电气安全消防

;、,、

安全及人员健康造成隐患静电控制措施不当不仅会影响洁净室的气流组织洁净度还会影响电气及

;、,

消防安全本文件针对洁净室中静电来源和危害的特点规定了符合洁净室设计运行特点的静电控制

。,、

技术要求以控制洁净室内的静电影响

,。

Ⅳ

GB/T33555—2025

洁净室及相关受控环境

静电控制技术要求

1范围

本文件给出了洁净室及相关受控环境中的静电来源和危害规定了洁净室及相关受控环境中适用

,

的静电控制技术要求

。

本文件适用于洁净室及相关受控环境中的静电控制

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

医院消毒卫生标准

GB15982

低压电气装置第部分安全防护电压骚扰和电磁骚扰防护

GB/T16895.104-44:

洁净室及相关受控环境第部分检测方法

GB/T25915.33:

洁净室及相关受控环境第部分设计建造启动

GB/T25915.44:、、

洁净室及相关受控环境第部分达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

GB/T25915.1313:

洁净室及相关受控环境第部分按粒子浓度评估设备适用性

GB/T25915.1414:

洁净室及相关受控环境第部分按气态化学物浓度评定设备及材料的适

GB/T25915.1515:

用性

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

静电控制electrostaticcontrol

对于给定环境产品或工艺将静电效应控制在允许限度之内的活动

、,。

32

.

静电放电敏感的electrostaticdischargesensitiveESDS

();

易受到静电场或静电放电影响而产生故障或破坏的

()。

33

.

静电吸引electrostaticattractionESA

;

两个或多个带相反电荷的物体之间的相互作用导致粒子在带电体表面上的沉积速率增加或带电

,

粒子的运动

。

34

.

静电放电electrostaticdischargeESD

;

具有不同静电电位的物体之间由于直接接触或静电场感应引起两物体间的静电电荷的快速转移

,。

1