GB/T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性
GB/T 25915.14-2022 Cleanrooms and associated controlled environments—Part 14:Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
基本信息
本文件不适用于：
——根据微生物污染评估适用性；
——对清洁剂及清洁技术的适用性进行测试；
——设备和材料的可清洁性；
——设备设计及材料选择的要求；
——材料的静电、热学等物理性能；
——具体工艺场合设备性能的优化；
——测试统计方法的选用；
——当地安全法规的条款和要求。
发布历史
-
2022年12月
研制信息
- 起草单位：
- 苏州安泰空气技术有限公司、江苏嘉合洁净科技有限公司、中国电子系统工程第四建设有限公司、中国标准化协会、苏州市计量测试院、中国合格评定国家认可中心、中国建筑科学研究院有限公司、江苏富泰净化科技股份有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、中国电子工程设计院有限公司、上海市食品药品包装材料测试所、广东省洁净技术行业协会、天津大学、上海市室内环境净化行业协会、南京工业大学、北京中邦兴业科技有限公司、广东量化检测技术有限公司、深圳市朗奥洁净科技技术股份有限公司、江汉大学、中科圣杰(深圳)科技集团有限公司、河南盛川净化工程有限公司
- 起草人：
- 周斌、郝胤博、孙玉澄、冯昕、刘俊杰、赵伟、吴志坚、夏薇佳、王芳、袁月、吴振一、韩辉、魏佳鸣、吴章勇、胡茂从、阎冬、周建平、董学鑫、张正兵、夏高丰、蔡佳义、钟庚、朱正财、刘永
- 出版信息：
- 页数：21页 | 字数：37 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS13.040.35
CCSC70
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT25915.142022ISO14644-142016
洁净室及相关受控环境
:
第部分按粒子浓度评估设备适用性
14
—:
CleanroomsandassociatedcontrolledenvironmentsPart14
Assessmentofsuitabilitforuseofeuimentbairbornearticleconcentration
yqpyp
(:,)
ISO14644-142016IDT
2022-12-30发布2023-07-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—/:
GBT25915.142022ISO14644-142016
目次
前言…………………………Ⅲ
引言…………………………Ⅳ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
4评估大纲…………………2
5目视检查…………………3
6悬浮粒子浓度测量的适用性评估………………………3
7记录………………………8
8设备的洁净室适用性的表述……………10
()……………………
附录资料性测试数据处理示例
A11
()………………
附录资料性可选测试
B15
参考文献……………………17
Ⅰ
/—/:
GBT25915.142022ISO14644-142016
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.120201
起草。
/《》。/
本文件是洁净室及相关受控环境的第部分已经发布了以下
GBT2591514GBT25915
部分:
———:;
第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级
1
———:;
第部分洁净室空气粒子浓度的监测
2
———:;
第部分检测方法
3
———:、、;
第部分设计建造启动
4
———:;
第部分运行
5
———:
定制服务
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