GB/T 25915.8-2010 洁净室及相关受控环境 第8部分：空气分子污染分级

ICS13.040.35

C70

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT25915.82010ISO14644-82006

洁净室及相关受控环境

:

第部分空气分子污染分级

8

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—

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments

:

Part8Classificationofairbornemolecularcontamination

(:,)

ISO14644-82006IDT

2011-01-14发布2011-06-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—/:

GBT25915.82010ISO14644-82006

目次

前言…………………………Ⅰ

引言…………………………Ⅱ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4分级………………………2

5合格的证明………………4

()

附录A资料性附录所需考虑的因素…………………6

()

附录B资料性附录常见污染物………………………9

()

附录C资料性附录常用测量方法……………………11

()

附录D资料性附录隔离装置的特殊要求……………14

参考文献……………………15

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/—/:

GBT25915.82010ISO14644-82006

前言

/《》:

GBT25915洁净室及相关受控环境分为八个部分

———:;

第部分空气洁净度等级

1

———:/;

第部分证明持续符合的检测与监测技术条件

2GBT25915.1

———:;

第部分检测方法

3

———:、、;

第部分设计建造启动

4

———:;

第部分运行

5

———:;

第部分词汇

6

———:(、、、);

第部分隔离装置洁净风罩手套箱隔离器微环境

7

———:。

第部分空气分子污染分级

8

本部分是/的第部分。

GBT259158

本部分按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

:《:

本部分使用翻译法等同采用洁净室及相关受控环境第部分空气分子污染

ISO14644-820068

分级》。

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Ⅰ

/—/:

GBT25915.82010ISO14644-82006

引言

,。

洁净室及相关受控环境将空气中的颗粒物控制在适当的水平以完成对污染敏感的作业航空航

、、、、、。

天微电子制药医疗器械食品医疗卫生等行业的产品和工艺受益于对空气污染的控制

、、,。

有些行业存在源自外部工艺或其他来源的空气分子污染它们会影响甚至破坏产品或工艺

/,()。,

的本部分中悬浮于空气中的分子用空气分子污染表示分子污染分阶段

GBT25915AMC3

“”,、、;

第一阶段是产生即外部源工艺的泄漏建筑材料或人身上材料的气体释放第二阶段是AMC的

“”;“”,()。

传播第三阶段是敏感表面的吸附此阶段的表面分子污染SMC可以量化

,“”“”。

除了实际外释放气体的材料及吸附表面对产生和吸附个阶段也有很大的影响因

AMC2

,,,。

此对于这两个阶段不仅需明确AMC还需明确所涉及的材料和表面为了制定适用于各类洁净室

,。

及相关受控环境的通用标准选择对AMC进行分级

在洁净室及相关受控环境中的分子污染危害产品,

或工艺的场合本部分所确定的ISO等级用来规

定其中的AMC浓度限值。

,,、、

为分级的目的本部分局限于规定AMC的浓度范围并考虑到化合物检测和分析方法时间加权

系数等因素给出规定浓度的标准规程。

本部分包含下述资料性附录:

———:;

附录A需要考虑的参数

———:;

附录B常见污染化学品和物质

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———:;

附录C常用测量和分析方法

:。

———附录D隔离装置的特殊要求

/。、

本部分是有关洁净室与污染控制GBT25915标准中的一部分洁净室及受控环境的设计技术

、,,,/

要求运行和控制中除AMC外尚有许多其他需要考虑的因素那些问题包含在SACTC319编制的

。/()。,

其他国家标准中要特别注意GBT25916所有部分有些情况下相关管理机构可能会规定某些

,。

补充政策或限制此时可能需要对本部分进行适当修改

Ⅱ

/—/:

GBT25915.82010ISO14644-82006

洁净室及相关受控环境

:

第部分空气分子污染分级

8

1范围

/(、、),

GBT25915的本部分依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质种组类的浓度对空

()。,,、

气分子污染AMC进行分级同时本部分在分级技术要求中给出了包括检测方法分析方法和时间

加权系数的规程。

本部分目前只考虑洁净室运行工况下0/3-12/3的浓度。

10m~10mAMC

gg

、、。

本部分不涉及那些虽有空气分子物质存在但不认为对产品或工艺有风险的行业工艺和生产

本部分无意探讨空气分子污染物的特性。

本部分不包含对表面分子污染的分级。

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

/:(/—,:

洁净室及相关受控环境第部分词汇

国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页

GBT25915.66GBT25915.62010ISO14644-6

,)

2007IDT

3术语和定义

/中界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

GBT25915.6

3.1一般术语

3.1.1

分子污染molecularcontamination

、、(、)。

危害产品工艺设备的分子化学的非颗粒物质

3.1.2

空气分子污染airbornemolecularcontamination

AMC

,、、(、)

以气态或蒸气态存在于洁净室及相关受控环境中可危害产品工艺设备的分子化学的非颗粒

物质。

:,。

注本定义不包含生物大分子将其归为粒子

3.1.3

表面分子污染surfacemolecularcontamination

SMC

、(、)

在洁净室或受控环境中以吸附态存在的对产品或关注表面有不良影响的分子化学的非颗粒

物质。

1

/—/:

GBT25915.82010ISO14644-82006

3.1.4

污染物类别contaminantcateor

gy

沉积在关注表面时有特定和类似危害结果的一组化合物的统称。

3.1.5

释放气体outassin

gg

从材料中释放气态或蒸气态分子物质。

3.2污染物类别

3.2.1

酸acid

以接受电子对并建立新化学键为化学反应特性的物质。

3.2.2

碱base

以给出电子对并建立新化学键为化学反应特性的物质。

3.2.3

生物毒素biotoxic

、、。

危害生物微生物生物组织或细胞个体的生长与存活的物质

3.2.4

可凝聚物condensable

可在洁净室运行状态下因凝聚而沉积在表面上的物质。

3.2.5

腐蚀剂corrosive国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页

使表面产生破坏性化学变化的物质。

3.2.6

掺杂物doant

p

(),,。

经产品本体吸收或和经扩散后与本体合为一体即使为微量亦可改变材料特性的物质

3.2.7

有机物oranic

g

,,、。

以碳为基本元素含氢含或不含氧氮等其他元素的物质

3.2.8

氧化剂oxidant

,(/)。

沉积在关注表面或产品上后形成氧化物OO或参与氧化还原反应的物质

23

4分级

4.1概述

。“”,

应按4.2给出的分级描述符表示分级描述符的形式为ISO-AMC它规定了空气中某类污染

、、。

物某种污染物或某组污染物的最大允许浓度

4.2ISO-AMC描述符格式

、、

应依据相应的ISO-AMC描述符确定洁净室或相关受控环境中关注的某类污染物某种污染物或

某组物质的AMC等级。

ISO-AMC描述符的格式为:

2

/—/:

GBT25915.82010ISO14644-82006

()

ISO-AMCNX

其中:

3

———,,,/。

等级它是浓度的常用对数值其限定范围为的单位为

NISO-AMCc0~-12cgm

XX

,;

N可以是非整数最多保留小数点后一位数

[];

N=loc

g

10X

———(),:

X与产品相互作用的污染物类别包括但不限于

酸();

ac

碱();

ba

生物毒素();

bt

可凝聚物();

cd

腐蚀物();

cr

掺杂物();

dp

,();

有机物总量or

氧化剂();

ox

,。

或一组物质或某种物质

:“()”,-6/3。

例1ISO-AMC-6NH3表示空气中氨的浓度10gm

-43

:“()”,/。

例2ISO-AMC-4or表示空气中总有机物浓度10m

g

-83

:“()”,·/。

例3ISO-AMC-7.3cd表示空气中总可凝聚物浓度510m

g

表和图给出污染物浓度与等级的对应关系。

11ISO-AMC

表1ISO-AMC等级

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333)

ISO-AMC等级浓度/(/)浓度/(/)浓度/(/

mmnm

gμgg

006()9()

10101000000101000000000

-1-15()8()

101010000010100000000

-2-24()7()

1010100001010000000

-3-33()6()

10101000101000000

-42()5()

-4101010010100000

-5-51()4()

1010101010000

-6-60()3()

10101101000

-7-7-1()2()

10100.110100

-8-8-2()1()

10100.011010

-9-3()0()

-910100.001101

-10-10-4()-1()

10100.0001100.1

-11-11-5()-2()

10100.00001100.01

-12-12-6()-3()

10100.000001100.001

3

/—/:

GBT25915.82010ISO14644-82006

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图1浓度与ISO-AMC等级的关系

5合格的证明

5.1原理

,,

通过执行供需双方协议商定的检测规程并提供检测结果和检测条件的规定文件来验证