GB/T 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
GB/T 25915.12-2021 Cleanrooms and associated controlled environments—Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration
基本信息
本文件给出的监测技术要求主要用于“动态”。
注1： 本文件提及的“纳米尺度粒子”是指所有在1维上（纳米片)、2维上（纳米纤维)或3维上（纳米粒子)具有纳米尺度的纳米物质。
注2： 请注意，洁净室内粒子的实际特性是由粒子的来源及其物理特性所决定的。
注3： 本文件未考虑健康与安全事项。
发布历史
-
2021年10月
研制信息
- 起草单位：
- 中天道成(苏州)洁净技术有限公司、中国电子工程设计院有限公司、苏州苏信环境科技有限公司、苏州市计量测试院、江苏苏净工程建设有限公司、江苏嘉合洁净科技有限公司、中国标准化协会、国家纳米科学中心、中国合格评定国家认可中心、南京天加环境科技有限公司、美埃(中国)环境科技股份有限公司、中电投工程研究检测评定中心有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、常州祥明智能动力股份有限公司、北京恒泰建业工程项目管理有限公司、贺氏(苏州)特殊材料有限公司
- 起草人：
- 王尧、姜伟康、蔡杰、孙玉澄、王其祥、王大千、姜皓遐、朱兰、翟传明、蒋乃军、邴绍同、石小雷、高正、吴小泉、叶伟强、张敏、董玉平、郝胤博、惠旅峰、肖轶群
- 出版信息：
- 页数：14页 | 字数：29 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS13.040.35
CCSC70
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT25915.122021ISO14644-122018
洁净室及相关受控环境第部分:
12
监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
—:
CleanroomsandassociatedcontrolledenvironmentsPart12Secificationsfor
p
monitorinofaircleanlinessbnanoscalearticleconcentration
gyp
(:,)
ISO14644-122018IDT
2021-10-11发布2022-05-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—/:
GBT25915.122021ISO14644-122018
目次
前言…………………………Ⅰ
引言…………………………Ⅱ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
4监测………………………3
5检测报告…………………3
()……………
附录资料性以凝结粒子计数器进行监测的参照方法
A5
()……………
附录资料性粒子计数效率和分割粒径
B8
参考文献……………………10
/—/:
GBT25915.122021ISO14644-122018
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.120201
起草。
/《》。/
本文件是洁净室及相关受控环境的第部分已经发布了以下
GBT2591512GBT25915
部分:
———:;
第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级
1
———:;
第部分洁净室空气粒子浓度的监测
2
———:;
第部分检测方法
3
———:、、;
第部分设计建造启动
4
———:;
第部分运行
5
———:;
第部分词汇
6
———:(、、、);
第部分隔离装置洁净风罩手套箱隔离器微环境
7
———:();
第部分按化学物浓度划分空气洁净度等级
8ACC
———:;
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