GB/T 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求

ICS13.040.35

CCSC70

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT25915.122021ISO14644-122018

洁净室及相关受控环境第部分:

12

监测空气中纳米粒子浓度的技术要求

—:

CleanroomsandassociatedcontrolledenvironmentsPart12Secificationsfor

p

monitorinofaircleanlinessbnanoscalearticleconcentration

gyp

(:,)

ISO14644-122018IDT

2021-10-11发布2022-05-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT25915.122021ISO14644-122018

目次

前言…………………………Ⅰ

引言…………………………Ⅱ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4监测………………………3

5检测报告…………………3

()……………

附录资料性以凝结粒子计数器进行监测的参照方法

A5

()……………

附录资料性粒子计数效率和分割粒径

B8

参考文献……………………10

/—/:

GBT25915.122021ISO14644-122018

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/《》。/

本文件是洁净室及相关受控环境的第部分已经发布了以下

GBT2591512GBT25915

部分:

———:;

第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级

1

———:;

第部分洁净室空气粒子浓度的监测

2

———:;

第部分检测方法

3

———:、、;

第部分设计建造启动

4

———:;

第部分运行

5

———:;

第部分词汇

6

———:(、、、);

第部分隔离装置洁净风罩手套箱隔离器微环境

7

———:();

第部分按化学物浓度划分空气洁净度等级

8ACC

———:;