GB/T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级

GB/T 25915.9-2018 Cleanrooms and associated controlled environments—Part 9:Classification of surface cleanliness by particle concentration

国家标准 中文简体 现行 页数:25页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 25915.9-2018
相关服务
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2018-06-07
实施日期
2018-10-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
适用范围
-

研制信息

起草单位:
中天道成(苏州)洁净技术有限公司、深圳市吉隆洁净技术有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司、苏州净化工程安装有限公司、中国电子工程设计院、中电投工程研究检测评定中心、中国电子学会洁净技术分会、深圳市亿天净化技术有限公司、北京世源希达工程技术公司、中国工程物理研究院八所、深圳新科特种装饰工程公司
起草人:
姜皓遐、殷晓冬、王大千、黄吉辉、金真、袁晓东、蒋乃军、王尧、张利群、夏群艳、苏钢民、吴晓媛、石小雷、邴绍同
出版信息:
页数:25页 | 字数:46 千字 | 开本: 大16开

内容描述

ICS13.040.35

C70

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT25915.92018ISO14644-92012

洁净室及相关受控环境

:

第部分按粒子浓度划分表面洁净度等级

9

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments

:

Part9Classificationofsurfacecleanlinessbarticleconcentration

yp

(:,)

ISO14644-92012IDT

2018-06-07发布2018-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—/:

GBT25915.92018ISO14644-92012

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4缩略语……………………2

5分级体系…………………2

6符合性的证实……………5

()…………

附录资料性附录表面特性

A7

()……………

附录资料性附录特定粒径范围描述符

B10

()…………

附录资料性附录影响分级的参数

CSCP12

()………

附录资料性附录按粒子浓度确定表面洁净度的测量方法

D14

参考文献……………………21

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