GB/T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级
GB/T 25915.9-2018 Cleanrooms and associated controlled environments—Part 9:Classification of surface cleanliness by particle concentration
国家标准
中文简体
现行
页数：25页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 25915.9-2018
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2018-06-07
实施日期
2018-10-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
适用范围
-
发布历史
-
2018年06月
研制信息
- 起草单位：
- 中天道成(苏州)洁净技术有限公司、深圳市吉隆洁净技术有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司、苏州净化工程安装有限公司、中国电子工程设计院、中电投工程研究检测评定中心、中国电子学会洁净技术分会、深圳市亿天净化技术有限公司、北京世源希达工程技术公司、中国工程物理研究院八所、深圳新科特种装饰工程公司
- 起草人：
- 姜皓遐、殷晓冬、王大千、黄吉辉、金真、袁晓东、蒋乃军、王尧、张利群、夏群艳、苏钢民、吴晓媛、石小雷、邴绍同
- 出版信息：
- 页数：25页 | 字数：46 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS13.040.35
C70
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT25915.92018ISO14644-92012
洁净室及相关受控环境
:
第部分按粒子浓度划分表面洁净度等级
9
—
Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments
:
Part9Classificationofsurfacecleanlinessbarticleconcentration
yp
(:,)
ISO14644-92012IDT
2018-06-07发布2018-10-01实施
国家市场监督管理总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—/:
GBT25915.92018ISO14644-92012
目次
前言…………………………Ⅲ
引言…………………………Ⅳ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
4缩略语……………………2
5分级体系…………………2
6符合性的证实……………5
()…………
附录资料性附录表面特性
A7
()……………
附录资料性附录特定粒径范围描述符
B10
()…………
附录资料性附录影响分级的参数
CSCP12
()………
附录资料性附录按粒子浓度确定表面洁净度的测量方法
D14
参考文献……………………21
Ⅰ
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