GB/T 25915.6-2010 洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇

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ICS01.040.1313.040.35

C70

中华人民共和国国家标准

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GBT25915.62010ISO14644-62007

洁净室及相关受控环境

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第部分词汇

6

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Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments

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Part6Vocabular

y

(:,)

ISO14644-62007IDT

2011-01-14发布2011-05-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—/:

GBT25915.62010ISO14644-62007

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2术语和定义………………1

参考文献……………………17

索引…………………………18

Ⅰ

/—/:

GBT25915.62010ISO14644-62007

前言

/《》:

GBT25915洁净室及相关受控环境包含八个部分

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第部分