GB/T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测
GB/T 25915.2-2021 Cleanrooms and associated controlled environments—Part 2:Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
基本信息
本文件适用于粒径0.1 μm～5 μm粒子浓度的监测。
本文件不适用于振动或工程系统一般维护等监测。超细粒子（小于0.1 μm的粒子）浓度的监测，将在另一个标准中规定。
发布历史
-
2011年01月
-
2021年08月
研制信息
- 起草单位：
- 中国电子系统工程第二建设有限公司、江苏嘉合建设有限公司、天津泰达洁净材料有限公司、深圳市丽风净化工程有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、中国电子工程设计院有限公司、陕西中电精泰电子工程有限公司、派欧尼尔环境净化工程(北京)有限公司、北检润和(北京)技术服务有限公司、天俱时工程科技集团有限公司、苏州苏净仪器自控设备有限公司、天津大学、中国标准化协会、中国建筑科学研究院有限公司、上海市室内环境净化行业协会、广东省洁净技术行业协会、苏州华泰空气过滤器有限公司、深圳市朗奥洁净科技股份有限公司、上海市食品药品包装材料测试所、广东省实验动物监测所、上海中增科教设备有限公司、深圳市君信达环境科技股份有限公司、上海誉净环保科技有限公司、广州市微生物研究所有限公司、灵汇机电工程(杭州)有限公司、广西华原过滤系统股份有限公司、佛山市顺德区阿波罗环保器材有限公司、广东富瑞希空气净化过滤制品有限公司
- 起草人：
- 施红平、王大千、刘俊杰、冯昕、龙军、王苑、谢敬伟、车玉伶、夏薇佳、吴志坚、吴巍、王芳、张仲杰、王辉、耿文韬、王蓉、周占磊、童广才、邱济夫、黄韧、魏佳鸣、姚增玉、廖志铭、詹炼、王华、张玉华、明飞平、程北川、于天、朱吉兴、邹再彬
- 出版信息：
- 页数：17页 | 字数：34 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS13.040.35
CCSC70
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT25915.22021ISO14644-22015
代替/—
GBT25915.22010
洁净室及相关受控环境
:
第部分洁净室空气粒子浓度的监测
2
—:
CleanroomsandassociatedcontrolledenvironmentsPart2Monitorinto
g
rovideevidenceofcleanroomerformancerelatedtoair
pp
cleanlinessbarticleconcentration
yp
(:,)
ISO14644-22015IDT
2021-08-20发布2022-03-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—/:
GBT25915.22021ISO14644-22015
目次
前言…………………………Ⅲ
引言…………………………Ⅴ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
、………………………
4监测计划的制定执行及持续改进2
5按粒子浓度定期划分空气洁净度………………………3
()………………
附录资料性制定监测计划考虑事项
A4
()……………………
附录资料性设定预警值和干预值的考虑事项
B7
参考文献……………………11
Ⅰ
/—/:
GBT25915.22021ISO14644-22015
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规
GBT1.120201
定起草。
/《》。/:
本文件是洁净室及相关受控环境的第部分已经发布了以下部分
GBT259152GBT25915
———:;
第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级
1
———:;
第部分洁净室空气粒子浓度的监测
2
———:;
第部分检测方法
3
———:、、;
第部分设计建造启动
4
———:;
第部分运行
5
———:;
第部分词汇
6
———:(、、、);
第部分隔离装置洁净风罩手套箱隔离器微环境
7
———:();
第部分按化学物浓度划分空气洁净度等级
8ACC
———:;
第部分按粒子浓度划分表面洁净度等级
9
———:;
第部分按化学物浓度划分表面洁净度等级
10
———:。
第部分监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
12
/—《:
本文件代替洁净室及相关
定制服务
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