GB/T 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性

GB/T 25915.15-2022 Cleanrooms and associated controlled environments—Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration

国家标准 中文简体 现行 页数:21页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 25915.15-2022
相关服务
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2022-12-30
实施日期
2023-07-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
适用范围
本文件规定了评定洁净室及相关受控环境中设备和材料的适用性要求,提供了指南。本文件不适用于以下内容:--健康和安全要求;--清洁剂及清洁技术的相容性;--清洁性;--生物污染;--工艺和产品对设备和材料的特定要求;--设备的设计细节。

研制信息

起草单位:
深圳市吉隆洁净技术有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、深圳天溯计量检测股份有限公司、苏州市计量测试院、苏州安泰空气技术有限公司、北京中邦兴业科技有限公司、中国标准化协会、江苏富泰净化科技股份有限公司、天津大学、中国建筑科学研究院有限公司、中国电子系统第四建设有限公司、中国电子工程设计院有限公司、上海市室内环境净化行业协会、广东省洁净技术行业协会、江汉大学、河南盛川净化工程有限公司、中国合格评定国家认可中心、中科圣杰(深圳)科技集团有限公司、上海建科环境技术有限公司、广州市第二装修有限公司、深圳市朗奥洁净科技技术股份有限公司、南京工业大学
起草人:
胡茂从、王天羿、郝胤博、冯昕、裴晶晶、黄吉辉、暴海霞、孙玉澄、吴建华、袁月、袁佳、吴志坚、阎冬、陈晶晶、徐晓丽、石霞、夏高丰、韩辉、张志行、张仲杰、董学鑫、周斌、刘永、陈健、胡向阳、樊娜
出版信息:
页数:21页 | 字数:38 千字 | 开本: 大16开

内容描述

ICS13.040.35

CCSC70

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT25915.152022ISO14644-152017

洁净室及相关受控环境

:

第部分按气态化学物浓度评定

15

设备及材料的适用性

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments

:

Part15Assessmentofsuitabilitforuseofeuimentandmaterialsb

yqpy

airbornechemicalconcentration

(:,)

ISO14644-152017IDT

2022-12-30发布2023-07-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT25915.152022ISO14644-152017

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号………………………3

5检测装置…………………4

6代表性模式………………6

7目视检查…………………7

8检测流程…………………7

9浓度的计算………………8

10特定释放速率的计算……………………8

11评定………………………9

12记录……………………10

()………

附录资料性已安装设备的适用性评定示例

A12

()………

附录资料性洁净室或洁净区域已安装板壁材料的适用性评定计算示例

B13

()………

附录资料性设计阶段洁净室设备和地面材料适用性评定

C14

参考文献……………………16

/—/:

GBT25915.152022ISO14644-152017

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/《》。/

本文件是洁净室及相关受控环境的第部分已经发布了以下

GBT2591515GBT25915

部分:

———:;

第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级

1

———:;

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