GB/T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级
GB/T 25915.10-2021 Cleanrooms and associated controlled environments—Part 10:Classification of surface cleanliness by chemical concentration
国家标准
中文简体
现行
页数：29页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 25915.10-2021
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2021-08-20
实施日期
2022-03-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
适用范围
本文件定义了洁净室中有关化合物或化学物质（包括分子、离子、原子、颗粒物）存在情况的表面洁净度分级系统。
本文件适用于洁净室及相关受控环境中所有表面，如墙面、顶棚、地面、工作环境、工具、设备和装置。
注1： 本文件仅考虑微粒子的化学性质，未考虑微粒子的物理性质。本文件不包括污染物与表面之间的相互作用。
注2： 本文件不涉及污染产生的过程，不涉及与时间有关的影响因素（沉降、沉积、老化等）以及与过程有关的活动（如转移、处理等），也不涉及为确保符合性的统计质量控制技术指南。
本文件适用于洁净室及相关受控环境中所有表面，如墙面、顶棚、地面、工作环境、工具、设备和装置。
注1： 本文件仅考虑微粒子的化学性质，未考虑微粒子的物理性质。本文件不包括污染物与表面之间的相互作用。
注2： 本文件不涉及污染产生的过程，不涉及与时间有关的影响因素（沉降、沉积、老化等）以及与过程有关的活动（如转移、处理等），也不涉及为确保符合性的统计质量控制技术指南。
发布历史
-
2021年08月
研制信息
- 起草单位：
- 中国工程物理研究院激光聚变研究中心、深圳市吉隆洁净技术有限公司、苏州市计量测试院、中国电子系统工程第二建设有限公司、苏州宏远净化技术有限公司、陕西中电精泰电子工程有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、烟台宝源净化有限公司、深圳市丽风净化工程有限公司、中国标准化协会、中国合格评定国家认可中心、上海市室内环境净化行业协会、上海风神环境设备工程有限公司、无锡汉佳医疗科技有限公司、上海浩泽诺瑞空气净化科技有限公司、茂盟(上海)工程技术股份有限公司
- 起草人：
- 袁晓东、黄吉辉、张秀春、侯忆、孙玉澄、苗心向、范国锋、施红平、王大千、邴绍同、金真、童广才、夏薇佳、吕海兵、王芳、崔艳、杨云涛、陈汉青、闫彩萍、陈晶晶、袁有华、陶清宝
- 出版信息：
- 页数：29页 | 字数：58 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS13.040.35
CCSC70
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT25915.102021ISO14644-102013
洁净室及相关受控环境第部分:
10
按化学物浓度划分表面洁净度等级
—
Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments
:
Part10Classificationofsurfacecleanlinessbchemicalconcentration
y
(:,)
ISO14644-102013IDT
2021-08-20发布2022-03-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—/:
GBT25915.102021ISO14644-102013
目次
前言…………………………Ⅲ
引言…………………………Ⅳ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
4分级………………………2
/、………………
5化学污染的表面洁净度检测测量监测及符合性证明4
()…………
附录资料性表面化学物各种浓度的换算
A6
()………………
附录资料性影响测试与结果的因素
B12
()………………
附录资料性洁净度评定的基本要素
C13
()………………
附录资料性按化学物浓度测试表面洁净度的方法
D14
()………………
附录资料性测试报告
E23
参考文献……………………24
Ⅰ
/—/:
GBT25915.102021ISO14644-102013
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.120201
起草。
/《》。/
本文件是洁净室及相关受控环境的第部分已经发布了以下
GBT2591510GBT25915
部分:
———:;
第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级
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