GB/T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

GB/T 25915.13-2022 Cleanrooms and associated controlled environments—Part 13:Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications

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基本信息

标准号

GB/T 25915.13-2022

相关服务

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标准类型

国家标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

C70 工业防尘防毒技术

国际标准分类号（ICS）

13.040.35 清洁室（无菌室）及相关受控环境

发布日期

2022-12-30

实施日期

2023-07-01

发布单位/组织

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

归口单位

全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)

适用范围

本文件提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。本文件中的表面涉及所有表面(外表面、内表面)。本文件提供评估达到表面洁净度的粒子浓度(SCP)和表面化学洁净度的化学物浓度(SCC)洁净度的所需清洁方法，以及达到规定洁净度宜考虑的清洁技术。ISO 14644.9和ISO 14644.10给出了清洁技术的适宜率和相关检测方法。本文件包含以下一般性指南：--表面目标洁净度等级；--清洁方法的适用性；--表面与清洁技术的相容性；--清洁方法适宜度的评估。本文件不包含以下事项：--清洁方法的分类；--洁净室内生产的产品；--与特定表面相关的具体清洁方法；--各种清洁方法的清洁机制、具体方法和规程的详细说明；--材料特性的详细说明；--清洁工序和清洁时间对表面破坏的机制；--污染物与表面间的黏附力，以及通常与时间和工艺相关的黏附过程；--粒子的其他特性，如静电、离子等；--分子污染物与表面的化学反应；--表面微生物；--放射性污染；--健康、安全；--环境因素，如：废物处理、排放等；--统计方法的选用。

发布历史

2022年12月

GB/T 25915.13-2022　洁净室及相关受控环境第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

当前标准现行 2022-12-30

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研制信息

起草单位：: 深圳市丽风净化工程有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、中电精泰电子工程有限公司、苏州市计量测试院、江苏嘉合洁净科技有限公司、中国电子系统工程第四建设有限公司、天津大学、中国电子工程设计院有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、中国标准化协会、中国建筑科学研究院有限公司、筑安检验检测中心有限公司、广东省洁净技术行业协会、上海市室内环境净化行业协会、中国合格评定国家认可中心、北京中邦兴业科技有限公司、烟台宝源净化有限公司、深圳市吉隆洁净技术有限公司、江汉大学、河南盛川净化工程有限公司、南京工业大学、广东量化检测技术有限公司、安徽同益净化科技有限公司、深圳市朗奥洁净科技技术股份有限公司