GB/T 34893-2017 微机电系统(MEMS)技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

GB/T 34893-2017 Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

国家标准中文简体现行页数：9页 | 格式：PDF

基本信息

标准号

GB/T 34893-2017

标准类型

国家标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

L55/59 微电路

国际标准分类号（ICS）

31.200 集成电路、微电子学

发布日期

2017-11-01

实施日期

2018-05-01

发布单位/组织

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

归口单位

全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

适用范围

本标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。本标准适用于表面反射率不低于4%，宽深比不低于1∶10，且使用光学干涉显微镜能够获取形貌的MEMS微结构。

发布历史

2017年11月

GB/T 34893-2017　微机电系统(MEMS)技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

当前标准现行 2017-11-01

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研制信息

起草单位：: 天津大学、中机生产力促进中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、南京理工大学中国电子科技集团公司第十三研究所

起草人：: 胡晓东、郭彤、于振毅、李海斌、程红兵、裘安萍、崔波、朱悦

出版信息：: 页数：9页 | 字数：14 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS31.200

L55

中华人民共和国国家标准

/—

GBT348932017

微机电系统()技术

MEMS

基于光学干涉的MEMS微结构

面内长度测量方法

Micro-electromechanicalsstemtechnolo—

ygy

Measurinmethodforin-lanelenthmeasurementsofMEMSmicrostructures

gpg

usinanoticalinterferometer

2017-11-01发布2018-05-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT348932017

前言…………………………Ⅰ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4测量方法………………

定制服务

关联标准

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GB/T 3505

GB/T 3505-2009 产品几何技术规范(GPS) 表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数

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GB/T 3505-2000 产品几何技术规范表面结构轮廓法表面结构的术语、定义及参数

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现行

GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术术语

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