GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
GB/T 38446-2020 Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
国家标准
中文简体
现行
页数：13页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2020-03-06
实施日期
2020-10-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。本标准适用于厚度在50 nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。
发布历史
-
2020年03月
研制信息
- 起草单位：
- 北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司
- 起草人：
- 张威、李海斌、张亚婷、朱悦、夏长奉、石云波、陈得民、马书嫏、程红兵、周浩楠
- 出版信息：
- 页数：13页 | 字数：22 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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