适用范围：本文件提供了使用适当的单层和多层参考物质优化溅射深度分析参数的指导和要求，以便优化俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱中的仪器设置，实现最佳深度分辨。 本文件不涵盖特殊多层膜系（例如δ掺杂层）的使用。

适用范围：本文件规定了X射线光电子能谱（XPS）的一般表面分析方法的通用要求。 本文件界定了XPS相关的表面化学分析术语。 本文件适用于X射线光电子能谱仪。

适用范围：本文件详细说明了用标定的均匀掺杂物质（用注入硼的参考物质校准）确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。它适用于均匀掺杂硼浓度范围从1×1016 atoms/cm3～1×1020 atoms/cm3。

适用范围：本文件描述了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。 本方法适用于测定金属上厚度为5 nm~10 000 nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰、锆和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。

适用范围：本文件规定了聚焦离子束法制备透射电镜试样的仪器设备、环境与样品要求、试样制备和试验记录。 本文件适用于金属材料，半导体、矿物等无机非金属材料及高分子材料等固态材料的透射电镜试样制备。 本文件适用于各种类型的聚焦离子束场发射扫描电镜双束系统，单束系统和多束系统参照执行。

适用范围：本文件规定了俄歇电子能谱仪特定性能参数的表述要求。 本文件适用于俄歇电子能谱仪的性能参数表述。

适用范围：本文件确立了采用高效液相色谱四极杆电感耦合等离子体质谱联用技术进行物质定性和定量分析的通用规则。本文件适用于采用高效液相色谱四极杆电感耦合等离子体质谱联用技术的定性和定量分析。

适用范围：本文件描述了常规分析中确认静态二次离子质谱正离子相对强度标的重复性和一致性的方法。本文件适用于安装有荷电中和电子枪的仪器，不用于校正强度随质量变化的响应函数，校正可由仪器制造厂商或其他机构进行。本文件提供数据以确认仪器使用时的相对强度一致性，提供可影响一致性的一些仪器参数的设置指南。

适用范围：本文件规定了俄歇电子能谱和X射线光电子能谱的峰强度测量的分析结果报告中所要求的必要信息，也提供了峰强度测量方法和导出的峰面积不确定度的信息。

适用范围：本文件描述了测定水处理剂分散性能的方法--分散高岭土法。 本文件适用于以药剂筛选为目的的水处理剂分散性能的测定。

适用范围：本文件描述了用于测量扫描电容显微镜（scanning capacitance microscope，SCM）或扫描扩展电阻显微镜（scanning spreading resistance microscope，SSRM）空间（横向）分辨的方法，该方法涉及使用锐边的器件。这2种显微镜广泛应用于半导体器件的载流子分布成像和其他电学特性的测量。

适用范围：本文件描述了表述X射线光电子能谱仪特定性能参数的方法。

适用范围：本文件提供了采用辉光放电发射光谱法(Glow discharge optical emission spectrometry，以下简称GDOES，)进行深度剖析和体相分析的指南。本文件仅限于讨论刚性固体样品的分析，不包括粉末、气体或溶液的分析。结合现有和将来特定的标准方法，本文件旨在能够实现仪器的规范管理和测量条件的控制。尽管近年来有不同类型的辉光放电发射光源问世，但目前绝大多数使用直流和射频光源的辉光放电光谱设备仍以空心阳极的Grimm型为主。然而不同于最初Grimm型光源阴极接触样品正面的设计，一些光源的阴极接触常置于样品背面，例如Marcus型光源。本文件包含的条款同样适用于上述 2种和其他类型的光源，Grimm型光源仅作为一个实例。

适用范围：本文件描述了用电感耦合等离子体质谱法测定水处理剂中砷、汞、镉、铬、铅、镍、铜含量的方法。 本文件适用于水处理剂中砷、汞、镉、铬、铅、镍、铜含量的测定，各元素含量测定范围为0.001 μg/g~10 μg/g。

适用范围：本文件描述了水处理剂中磷含量测定的分光光度法。 本文件适用于水处理复配药剂中正磷酸盐、总无机磷、总磷、总有机磷含量的测定，磷含量测定范围小于10% (以PO43－计)，对于更高磷含量的水处理复配药剂可以稀释后测定。 本文件不适用于铁系水处理剂产品中磷含量的测定。

适用范围：本文件描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）扫描轴的表征和校准方法，适用于提供进一步校准的测量系统，而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。 本文件旨在： ——通过对长度单位溯源，提高SPM几何量测量结果的可比性； ——明确校准程序及验收条件的最低要求； ——确认被校准仪器的能力（赋予仪器“校准能力”所属的类别）； ——规定校准的范围（测量及环境条件、测量范围、时间稳定性、通用性）； ——根据ISO/IEC Guide 98-3，提供模型来计算SPM测量中简单几何量的不确定度； ——规定报告结果的要求。

适用范围：本文件给出了在数据表、分析证书、涉及制备用于表面化学分析时纳米物体处理的报告或其他出版物中应报告的信息。这些信息对于确保促进应用这些材料的研究和技术所需的分析可靠性和再现性是必需的，并获得对可能的纳米物体环境和生物影响的恰当理解。这些信息除了其他与样品的合成、加工历史及表征有关的详细资料外，并宜成为有关材料来源和其自产生以来发生的变化的数据记录（有时被确认为源信息）的一部分。 本文件包括了资料性附录。附录总结了与纳米物体相关的挑战性问题，强调了需要在材料数据记录中加强文件化和报告（见附录A）,并提供了通常从用于表面化学分析的溶液中提取颗粒的方法示例（见附录B）。相关样品数据的示例集展示于附录C。 本文件未规定确保所描述的分析测量得到恰当实施所需的仪器类型或操作程序。

适用范围：本文件描述了采用辉光放电质谱法（GDMS)测量锗酸铋（BGO)晶体中杂质元素的方法。本文件适用于BGO晶体材料中除氢和惰性气体元素以外的其他杂质元素含量的测定，测定范围为0.001 μg/g~1 000 μg/g（质量分数)。通过合适的标准样品校正，也适用于测量质量分数大于1 000 μg/g的杂质元素含量。

适用范围：本文件界定了表面化学分析领域扫描探针显微术方面的术语，并给出了相关缩略语清单(见附录A)。 本文件适用于表面化学分析中扫描探针显微术相关的教学、科研、设计、制造、编写相关技术文件和书刊及技术交流。

适用范围：本文件描述了五种原子力显微术探针悬臂梁法向弹性常数的测量方法，测量的精度误差为5%~10%。每个方法分别隶属于尺寸法、静态实验法和动态实验法三类方法中的一种。方法的选择取决于分析所要达到的目的，便易性及现有的仪器条件。 本文件不适用于高于5%～10%的测量精度，如要获得高于5%~10%的测量精度，需要使用本文件未提及的更高精度的方法进行测量。