适用范围：本文件规定了六氯乙硅烷的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。 本文件适用于由生产多晶硅副产的六氯乙硅烷经纯化制备的电子用六氯乙硅烷。

适用范围：本文件规定了一氧化氮的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的电子用一氧化氮。

适用范围：本文件规定了安全阀校验单位管理系统的评价原则、评价要求、评价指标、评价方法和评价结果、档案管理、持续改进等内容,主要从法律法规、资源条件、质量管理体系、校验工作质量、责任要求、科技创新等方面对安全阀校验单位的管理能力进行评价。 本文件适用于安徽省安全阀校验单位管理系统评价工作，适用于第三方对安徽省安全阀校验单位的管理系统评价，也适用于安徽省安全阀校验单位自我管理系统评价。

适用范围：主要技术内容:本文件规定了双塔变压吸附（PSA）制氮设备（以下简称“制氮设备”）的术语和定义、基本参数及设计条件、一般要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于在常温下利用压缩空气采用分子筛变压吸附法，从空气中分离制取氮气，制氮产量不大于5000m3/h的采用两个变压吸附分离塔结构的设备。注1：本文件中氮产量均为标准状态，即0℃、0.101 325 MPa (绝压）状态下的气体量，单位为立方米（m3)。注2：压力值除注明者外均为表压值

适用范围：主要技术内容:本文件规定了循环流化床锅炉炉内炉外联合脱硫参数调整控制要求的术语和定义、结构及原理、参数要求、参数控制要求。本文件适用于循环流化床锅炉炉内炉外联合脱硫参数的调整控制

适用范围：范围:本文件适用于在常温下采用碳分子筛变压吸附法，从空气中分离制取氮气，制氮产量不大于5000m3/h的设备; 主要技术内容:本文件规定了节能型变压吸附制氮设备的术语和定义、基本参数及设计条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存

适用范围：主要技术内容:本文件规定了二氧化碳产品的技术要求、试验方法、二氧化碳安全警示及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于不同用途二氧化碳产品的质量要求，包括地质封存、驱油、灭火器、医用、电子工业、食品添加剂、工业液体、高纯二氧化碳，其他应用可参照执行

适用范围：本文件给出了氢气管道工程施工的总体要求，规定了施工准备、材料及设备、线路施工、站场工艺管道施工、健康、安全与环保措施、工程交工的要求。 本文件适用于新建或改建、扩建的陆上纯氢、掺氢长输管道工程线路、站场施工。

适用范围：本文件规定了使用临界流锐孔系统动态制备校准用混合气体的方法。校准用混合气体至少包括由纯气或预混合气体组成的两种气体（其中之一通常为补充气）。 本文件规定的方法主要适用于制备不与临界流锐孔系统或辅助设备中的气体管路材质发生反应的混合气体。使用合适数量的临界流锐孔时，可制备多组分混合气体。 选用合适的临界流锐孔组合，稀释比可达到1×104。 尽管本文件规定的方法通常应用于制备大气压条件下的混合气体， 但本文件规定的方法也能用于制备压力超过大气压的校准用混合气体。使用本文件规定的方法，上游气体压力需至少比下游气体压力高两倍。 本文件适用的流量范围为1 mL/min～10 L/min。

适用范围：GB/T 5275（所有部分)规定了多种动态法制备校准用混合气体的方法。本文件为GB/T 5275的第2部分，本文件规定了使用活塞泵连续产生校准用混合气体的方法。通过几何测量的方法进行活塞泵的校准，可得到所制备的校准用混合气体的组成及其不确定度。由纯气体或混合气体，通过使用气体混合泵可制备得到含有两种或两种以上组分的校准用混合气体。该气体混合泵由至少两个活塞泵组成，每个活塞泵均有确定的冲程比和合适的进气及混匀装置。本文件仅适用于气态混合物或可完全气化的组分组成的混合物。当气体组分不相互反应，也不与活塞泵内壁发生吸附或反应时，本文件也适用于以腐蚀性气体作为原料气的情况。本文件还适用于以混合气体作为原料气的情况。同时，多组分混合气体的制备和多步稀释制备过程可认为是双组分混合物制备的特殊情况，其制备也可采用本文件规定的方法。使用本文件规定的方法制备得到的校准用混合气体的组分用体积分数的形式表示，附录A给出了体积分数与物质的量分数数据换算方程及相关不确定度评定。当采取了充分的质量保证措施和测量控制手段时，使用该方法制备的混合气体体积分数的相对扩展不确定度能达到不超过0.5%（包含因子k=2)的水平。附录B和附录D给出了相对扩展不确定度更小的一些特殊情况的计算实例。使用本文件规定的方法，能实现1∶10 000的稀释比。通过多级稀释或使用混合气体进行稀释，能获得更低的体积分数（可低至1×10-8)。最终产生的混合气体的流量范围能达到5 L/h~500 L/h。

适用范围：范围:本文件适用于以工业合成氯化氢或其他来源工业氯化氢为原料经纯化制得的气体，主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域; 主要技术内容:本文件规定了电子工业用高纯氯化氢气体的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和安全警示

适用范围：本文件给出了氢气管道工程的基本要求，规定了输氢工艺、线路工程、管道和管道附件的结构设计、输氢站、防腐腐蚀控制与保温、仪表与自动控制、电力、通信、辅助生产设施、焊接与检验检测、清管、测径与试压、干燥与置换的要求。本文件适用于陆上新建、改建、氢含量大于10％(按体积计)的输氢管道。

适用范围：本文件规定了二氧化碳管道站场工艺管道施工及验收的要求。本文件适用于新建、改建或扩建陆上二氧化碳管道站场内工艺管道工程的施工及验收。本文件不适用于炼油化工、油气田站场、输油输气管道站场以及二氧化碳管道站场内泵、压缩机、脱水装置、流量计等橇装设备本体所属管道的施工及验收。

适用范围：范围:本文件适用于高温气冷堆核动力厂用氦气的使用; 主要技术内容:本文件规定了高温气冷堆核动力厂用氦气的采购、运输、验收、贮存、使用、辐射防护、应急处理措施的要求

适用范围：主要技术内容:本文件规定了高纯氮气的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储运、充装、装卸、储存、使用和安全警示以及质量承诺。本文件适用于空气分离或净化得到的气态的瓶装高纯氮气，主要用作保护气、置换气、反应气、零点气、校准气和平衡气等

适用范围：主要技术内容:本文件规定了变压吸附（PSA）制氮设备（以下简称制氮设备）的术语和定义、基本参数及设计条件、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装及运输和贮存、质量承诺。本文件适用于在常温下利用压缩空气采用分子筛变压吸附法，从空气中分离制取氮气，制氮产量不大于 5 000 m3/h 的设备。注1： 本文件中氮产量均为标准状态，即 0 ℃、 0.101 325 MPa (绝压）状态下的气体量，单位为立方米（m3)。注2： 压力值除注明者外均为表压值

适用范围：范围:本文件规定了2.7%乙烯/氦混合气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存的要求。 本文件适用于电子工业用2.7%乙烯/氦混合气（以下简称2.7%乙烯/氦混合气），其它组分比例的乙烯氦混合气可参考执行; 主要技术内容:本文件规定了2.7%乙烯/氦混合气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存的要求。本文件适用于电子工业用2.7%乙烯/氦混合气（以下简称2.7%乙烯/氦混合气），其它组分比例的乙烯氦混合气可参考执行

适用范围：范围:本文件规定了5%氢/氦混合气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存的要求。 本文件适用于电子工业用5%氢/氦混合气（以下简称5%氢/氦混合气），其它组分比例的氢氦混合气可参考执行; 主要技术内容:本文件规定了5%氢/氦混合气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存的要求。本文件适用于电子工业用5%氢/氦混合气（以下简称5%氢/氦混合气），其它组分比例的氢氦混合气可参考执行