适用范围：主要技术内容:本文件规定了低空载人氦气球的术语、基本要求、安全操作要求、应急预案与演练。本文件适用于以氦气为充气介质的低空载人氦气球

适用范围：主要技术内容:本文件规定了低温超导磁体氦气回收纯化系统产品规范的性能参数、工艺及技术要求、检验要、求供货文件、包装和储运。本文件适用于采用液氦为冷源的超导磁体，在突然失去超导性能导致液氦大量蒸发、预冷过程中的液氦蒸发和正常工作过程中的液氦蒸发产生的氦气进行回收和纯化的系统

适用范围：主要技术内容:本文件规定了低空载人氦气球的术语、基本要求、安全操作要求、应急预案与演练。本文件适用于以氦气为充气介质的低空载人氦气球

适用范围：主要技术内容:本文件规定空调检漏氦气回收纯化装置的性能要求、工艺及技术要求、检验要求、供货文件、包装、储运。本文件适用于采用膜分离器作为纯化部件的空调检漏氦气回收纯化装置，纯化后氦气纯度≥95%

适用范围：主要技术内容:本文件规定光纤冷却氦气循环利用装置的性能要求、工艺及技术要求、检验要求、供货文件、包装、储运。本文件适用于采用氦气膜分离纯化的光纤冷却氦气循环利用装置，纯化后氦气纯度≥99%

适用范围：本文件规定了制备具有稳定性和可比性的校准用混合气体1)的通用质量保证要求2)，确立了验证此类混合气体的组成在规定的测量不确定度范围内是否准确的程序，提供了如何在这些程序中进行不确定度评定的指导，描述了使用可溯源的标准混合气体来校准组成未知的校准用混合气体的方法，给出了校准用混合气体生产商使用的质量管理体系，还给出了这些差异3)对混合气体特性造成的影响的信息。

适用范围：本文件简要描述了ISO 6145的其他部分详述的各种动态制备方法，提供了合理选择一种或多种校准用混合气体的制备方法的基本信息，描述了将动态制备方法与国家测量标准建立联系、确保所制备的混合气体组成的计量溯源性的方法1)，描述了通过与已验证的校准用混合气体进行比较对所制备的混合气体组成进行分析的方法，规定了使用动态法制备混合气体的通用要求，给出了用于计算校准用混合气体组成及其不确定度的必要公式。 本文件适用于动态法制备用于气体分析仪的校准或核查的校准用混合气体，不适用于动态法制备的气袋装或气瓶装的混合气体的贮存。

适用范围：范围:本文件规定了电子工业用氟氮混合气的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本文件适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟，与氮气混合配制而成的电子工业用氟氮混合气; 主要技术内容:项目氟（F2）含量（体积分数）/10-2氮（N2）含量（体积分数）/10-2氧（O2）含量（体积分数）/10-6四氟化碳（CF4）含量（体积分数）/10-6六氟化硫（SF6）含量（体积分数）/10-6一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6氟化氢（HF）含量（体积分数）/10-6

适用范围：范围:本文件规定了工业丙烷脱氢副产氢气产品的分类分型、技术要求、试验方法、包装标志、贮运及安全要求。 本文件适用于丙烷、丁烷或混合原料等低碳烷烃脱氢技术副产的氢气; 主要技术内容:项目氢气（体积）/10-2甲烷（体积）/10-2C2+烃（体积）/10-2氧气（体积）/10-2氮气（体积）/10-2一氧化碳（体积）/10-2二氧化碳（体积）/10-2水

适用范围：主要技术内容:本文件规定了气态氦和液态氦的技术要求、试验方法以及包装、标志及储运、安全要求。本文件适用于填充氦飞艇、飞行船、气球、检漏等氦气，以及光纤、电子、航天航空及低温超导等行业的纯氦、高纯氦、超纯氦

适用范围：主要技术内容:本文件规定了高纯度变压吸附制氮系统（以下简称“制氮系统”）的术语和定义、零部件、基本参数、设计条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于高纯度变压吸附制氮系统的生产、检验

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体氙/氖混合气（以下简称氙/氖混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存等。本文件适用于电子工业用氙/氖混合气，其测定范围（体积分数）：氙气为0.1%～10%，其它组分比例的氙/氖混合气可参考执行

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体氧/氮混合气（以下简称氧/氮混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存等。本文件适用于电子工业用氧/氮混合气，其测定范围（体积分数）：氧气为0.1%～50%，其它组分比例的氧/氮混合气可参考执行

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体氟气混合气（以下简称氟气混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于电子工业用氟气混合气，主要用于激光气、汽车、制药工业中材料氟化处理等领域。氟气混合气中平衡气多采用氮气、氖气或氦气，也可以是其他不与氟气发生化学反应，且不影响反应工艺的气体

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体一氟甲烷（以下简称一氟甲烷）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于以工业一氟甲烷为原料经纯化制备的电子工业用一氟甲烷，它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体六氟乙烷混合气（以下简称六氟乙烷混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于电子工业用六氟乙烷混合气，主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。六氟乙烷混合气中平衡气多为氧气，也可以是其他不与六氟乙烷发生化学反应，且不影响反应工艺的气体

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体六氟丙烷（以下简称六氟丙烷）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于以工业六氟丙烷为原料经纯化制备的电子工业用六氟丙烷，它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用乙硼烷混合气（以下简称乙硼烷混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于电子工业用乙硼烷混合气，主要用作外延工艺的掺杂源、扩散工艺的扩散源和离子注入源。乙硼烷混合气中平衡气多为氦气、氩气、氮气、氢气，也可以是其他不与乙硼烷发生化学反应，且不影响反应工艺的气体

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体二氟甲烷（以下简称二氟甲烷）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于以工业二氟甲烷为原料经纯化制备的电子工业用二氟甲烷，它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体五氟乙烷（以下简称五氟乙烷）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于以工业五氟乙烷为原料经纯化制备的电子工业用五氟乙烷，它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体