GB/T 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备

ICS31.220

L95

中华人民共和国国家标准

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GBT366462018

制备氮化物半导体材料用

氢化物气相外延设备

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2018-09-17发布2019-01-01实施

国家市场监督管理总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT366462018

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4产品分类和标记…………………………2

4.1分类…………………2

4.2型号标记……………2

5工作条件…………………3

5.1电源…………………3

5.2环境温度……………3

5.3相对湿度……………3

5.4大气压力……………3

5.5洁净室等级…………………………4

5.6冷却水………………4

5.7动力气体……………4

6要求………………………4

6.1压升率………………4

6.2气体输运系统……………………