T/CAEE 028-2026 电子级硫酸制造用高纯三氧化硫
T/CAEE 028-2026 high-purity sulfur trioxide for electronic-grade sulfuric acid manufacturing
团体标准
中文(简体)
即将实施
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|
格式:PDF
基本信息
标准号
T/CAEE 028-2026
标准类型
团体标准
标准状态
即将实施
发布日期
2026-01-15
实施日期
2026-02-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国电子装备技术开发协会
适用范围
5试验方法
一般要求
5.1.1实验室环境
试验应在洁净、干燥、通风良好的实验室中进行,实验室温度应控制在 20℃±2℃,相对湿度≤65%。实验室应远离粉尘源、污染源和强电磁干扰源,避免环境因素对检测结果产生影响。用于痕量杂质检测的实验室应符合洁净实验室相关要求,空气中的悬浮颗粒物、金属杂质含量应控制在极低水平。
5.1.2试验用水
试验所用纯水应符合 GB/T 6682 中一级水的要求,电阻率≥18.2MΩ?cm(25℃),总有机碳(TOC)≤10ppb,金属杂质含量≤0.1ppb。试验用水在使用前应经过脱气处理,避免水中溶解的气体对检测结果产生干扰。
5.1.3试验器具
所有试验器具(包括容量瓶、移液管、坩埚、比色管等)均应选用耐腐蚀、低杂质的材质,如硼硅酸盐玻璃、PFA、PTFE 等。试验器具在使用前应进行严格的清洗和校准:先用稀硝酸溶液(1+9)浸泡 24h,再用一级水冲洗至少 10 次,最后在 105℃±2℃的烘箱中烘干至恒重,冷却后备用。用于 ICP-MS、离子色谱等精密仪器分析的器具,还应进行空白验证,确保器具本身不引入杂质。
5.1.4试剂和材料
试验所用试剂均应为优级纯或更高纯度级别,其杂质含量应远低于被检测样品的杂质限值,避免试剂引入干扰。标准品应选用有证标准物质,浓度准确,稳定性良好,在有效期内使用。载气、燃气等气体应符合相关标准要求,如气相色谱法所用载气高纯氮气的纯度≥99.999%,确保仪器正常运行和检测结果的准确性。
5.1.5仪器校准
所有检测仪器(气相色谱仪、ICP-MS 仪、离子色谱仪、密度计、旋转粘度计等)均应按照相关标准或仪器操作规程进行定期校准,校准周期不应超过 2 年。校准应使用有证标准物质或标准器具,校准结果应符合仪器的技术要求。仪器校准记录应妥善保存,以备核查。
外观检验
5.2.1检验环境
检验应在自然光充足、无干扰的环境下进行,可在通风橱内操作,避免样品挥发产生的烟雾影响观察。环境温度应控制在 20℃±2℃,避免温度过高或过低导致样品状态变化。
5.2.2检验器具
选用清洁、干燥、无划痕的透明石英比色管,规格为 50mL 或 100mL,液面高度不低于 20cm。同时准备一支同规格的标准比色管,装入同体积的一级水作为对照。
5.2.3检验步骤
——用洁净的 PFA 移液管吸取适量试
发布历史
-
2020年05月
-
2026年01月
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研制信息
- 起草单位:
- 苏州双狮环境科技有限公司、惠州市晟达新材料科技有限公司、湖北兴福电子材料股份有限公司、天津环渤新材料有限公司、北京通标科达标准化技术有限公司、沈阳千亿信息科技有限公司
- 起草人:
- 顾林建、文革、郭岚峰、崔鹏慧、何文旭、石黄华、吴斌、许艳梅、崔学军
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
暂无内容
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