GB/T 42709.7-2023 半导体器件 微电子机械器件 第7部分：用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器

ICS31.200

CCSL40

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT42709.72023IEC62047-72011

半导体器件微电子机械器件

:

第部分用于射频控制和选择的

7

MEMS体声波滤波器和双工器

——

SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevices

:

Part7MEMSBAWfilteranddulexerforradiofreuenccontrolandselection

pqy

(:,)

IEC62047-72011IDT

2023-05-23发布2023-12-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT42709.72023IEC62047-72011

目次

前言…………………………Ⅰ

引言…………………………Ⅱ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

3.1基本术语……………1

3.2体声波滤波器术语…………………2

3.3体声波双工器术语…………………3

3.4特性参数术语………………………4

4基本额定值和特性………………………10

、……………………

4.1谐振器滤波器和双工器标志10

4.2其他信息……………10

5测试方法…………………10

5.1测试步骤……………10

5.2射频特性……………12

5.3可靠性试验方法……………………15

()……………

附录资料性体声波谐振器的几何结构

A17

()……………

附录资料性体声波谐振器的工作原理

B18

参考文献……………………20

/—/:

GBT42709.72023IEC62047-72011

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/《》。/

本文件是半导体器件微电子机械器件的第部分已经发布了以

GBT427097GBT42709

下部分:

———:;

第部分射频开关

5MEMS

———:;

第部分用于射频控制和选择的体声波滤波器和双工器

7MEMS

———:。

第部分电子罗盘

19