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GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅

GB/T 30652-2014 Trichlorosilane for silicon epitaxial

国家标准 中文简体 被代替 已被新标准代替，建议下载标准 GB/T 30652-2023 | 页数：5页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 30652-2014
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
H83 化合物半导体材料
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2014-12-31
实施日期
2015-09-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本标准规定了硅外延用三氯氢硅(SiHCl3)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书以及订货单 (或合同)内容。
本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）。

发布历史

文前页预览

GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅-第1页
GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅-第2页
GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅-第3页

研制信息

起草单位：
中锗科技有限公司、南京国盛电子有限公司、南京中锗科技股份有限公司
起草人：
柯尊斌、刘新军、郑华荣、谭卫东、金龙
出版信息：
页数：5页 | 字数：6 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS29.045

H83

中华人民共和国国家标准

/—

GBT306522014

硅外延用三氯氢硅

Trichlorosilaneforsiliconeitaxial

p

2014-12-31发布2015-09-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT306522014

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/

定制服务

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    国务院令第591号　危险化学品安全管理条例
    国务院令第591号　危险化学品安全管理条例
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    GB 190-2009 危险货物包装标志
    现行
    GB/Z 190-2026 电气设备用图形符号 多媒体设备用图形符号规范
    现行
    GB 190-1990 危险货物包装标志
    被代替
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    GB/T 191-2025 包装储运图形符号标志
    现行
    GB/Z 191-2026 智能计算 隐私保护计算技术框架
    现行
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    被代替
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    被代替
    GB 16483
    GB/T 16483-2008 化学品安全技术说明书 内容和项目顺序
    现行
    GB 16483-2000 化学品安全技术说明书 编写规定
    被代替
    GB 28654
    GB/T 28654-2018 工业三氯氢硅
    现行
    GB/T 28654-2012 工业三氯氢硅
    被代替
    GB/T 29056
    GB/T 29056-2025 硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
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    GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
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    现行
    YS/T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法 甲基二氯氢硅的测定
    被代替
    被以下标准替代
    GB/T 30652-2023
    GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅
    现行

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