适用范围：本文件提供了使用适当的单层和多层参考物质优化溅射深度分析参数的指导和要求，以便优化俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱中的仪器设置，实现最佳深度分辨。 本文件不涵盖特殊多层膜系（例如δ掺杂层）的使用。

适用范围：本文件描述了在单离子计数飞行时间二次离子质谱仪中，通过测量基于聚四氟乙烯（PTFE）质谱中的同位素比值，从而确定强度标线性偏差可接受限的最大计数率的方法。本文件还包括校正强度非线性的方法，强度的非线性是由在死时间内到达微通道板（MCP）或闪烁体和光电倍增器随后进入时间数字转换器（TDC）的二次离子强度损失引起的。该校正可将95％线性的强度范围增加到50倍以上，因此对于那些已证实相关校正公式有效的质谱仪，可以采用更高的最大计数率。

适用范围：本文件描述了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。 本方法适用于测定金属上厚度为5 nm~10 000 nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰、锆和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。

适用范围：本文件详细说明了用标定的均匀掺杂物质（用注入硼的参考物质校准）确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。它适用于均匀掺杂硼浓度范围从1×1016 atoms/cm3～1×1020 atoms/cm3。

适用范围：本文件规定了X射线光电子能谱（XPS）的一般表面分析方法的通用要求。 本文件界定了XPS相关的表面化学分析术语。 本文件适用于X射线光电子能谱仪。

适用范围：本文件规定了化工安全仪表系统安全要求规格书的编制原则、编制内容、编制流程、文件结构，并给出了文件结构的相关示例。本文件适用于化工生产装置及其公用工程和辅助生产设施的安全仪表系统安全要求规格书的编制。

适用范围：主要技术内容:本文件规定了在计算机上存储扫描探针显微镜/扫描探针显微术（SPM）数据的一种格式

适用范围：本文件规定了应用电子探针显微分析仪或者安装在扫描电镜（SEM）的波谱仪（WDS），通过电子束与试样相互作用产生的X射线对试样微米尺度体积内的元素进行定量分析的要求。 本文件还包括如下内容： ——定量分析原理； ——本方法涉及的元素、质量分数和标准物质的一般范围； ——仪器的一般要求； ——有关试样制备、实验条件选择、分析测量和报告等基本过程。 本文件适用于电子束垂直入射到表面平滑、均匀的块状试样的定量分析。对仪器和数据处理软件没有特殊的要求。使用者宜从仪器制造厂家获得仪器安装条件、详细的操作程序及仪器规格等信息。

适用范围：本文件规定了危险化学品企业开展安全生产标准化工作的基本要求及管理要求。 本文件适用于危险化学品生产企业、使用危险化学品从事生产的化工企业，以及储存危险化学品经营的企业（以下简称企业）。

适用范围：本文件给出了用电子探针显微分析仪或者扫描电镜的波谱仪附件获得试样特定体积内（μm3尺度）的X射线谱进行元素鉴别和确认特定元素存在的方法。

适用范围：本文件规定了用于透射电子显微镜观察聚合物复合材料的超薄切片样品制备方法及技术规范。 本文件适用于常温或冷冻条件下能进行超薄切片的聚合物复合材料制样。

适用范围：本文件规定了聚焦离子束法制备透射电镜试样的仪器设备、环境与样品要求、试样制备和试验记录。 本文件适用于金属材料，半导体、矿物等无机非金属材料及高分子材料等固态材料的透射电镜试样制备。 本文件适用于各种类型的聚焦离子束场发射扫描电镜双束系统，单束系统和多束系统参照执行。

适用范围：本文件规定了用聚焦离子束扫描电镜对致密岩石微孔隙进行三维成像的方法。 本文件适用于泥岩、页岩、致密碳酸盐岩、致密砂岩和煤岩等岩石50 nm⁓20 μm的微纳米级孔隙分析，其他地质样品参照执行。