GB/T 17473.3-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定
GB/T 17473.3-2008 Test methods of precious metals pastes used for microelectronics—Determination of sheet resistance
基本信息
标准号
GB/T 17473.3-2008
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2008-03-31
实施日期
2008-09-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
适用范围
本部分规定了微电子技术用贵金属浆料方阻的测试方法。
本部分适用于微电子技术用贵金属浆料方阻的测定。
发布历史
-
1998年08月
-
2008年03月
研制信息
- 起草单位:
- 贵研铂业股份有限公司
- 起草人:
- 金勿毁、刘继松、李文琳、陈伏生、朱武勋、李晋
- 出版信息:
- 页数:8页 | 字数:9 千字 | 开本: 大16开
内容描述
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中华人民共和国国家标准
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犌犅犜17473.32008
代替/—
GBT17473.31998
微电子技术用贵金属浆料测试方法
方阻测定
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20080331发布20080901实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
中华人民共和国
国家标准
微电子技术用贵金属浆料测试方法
方阻测定
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GBT17473.32008
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