GB/T 20228-2021 砷化镓单晶
GB/T 20228-2021 Gallium arsenide single crystal
国家标准
中文简体
现行
页数:8页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
GB/T 20228-2021
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2021-05-21
实施日期
2021-12-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本文件规定了砷化镓单晶的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。
本文件适用于液封直拉法(LEC)、垂直梯度凝固法(VGF)、垂直布里奇曼法(VB)生长的,用于制备光电子、微电子等器件的砷化镓单晶,不适用于水平布里奇曼法(HB)生长的砷化镓单晶。
本文件适用于液封直拉法(LEC)、垂直梯度凝固法(VGF)、垂直布里奇曼法(VB)生长的,用于制备光电子、微电子等器件的砷化镓单晶,不适用于水平布里奇曼法(HB)生长的砷化镓单晶。
发布历史
-
2006年04月
-
2021年05月
研制信息
- 起草单位:
- 云南中科鑫圆晶体材料有限公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、广东先导先进材料股份有限公司、有研光电新材料有限责任公司、义乌力迈新材料有限公司
- 起草人:
- 惠峰、林作亮、普世坤、李素青、尹国文、陈维迪、周铁军、董汝昆、罗爱斌、林泉、马英俊、宾启雄、皮坤林
- 出版信息:
- 页数:8页 | 字数:16 千字 | 开本: 大16开
内容描述
ICS29.045
CCSH83
中华人民共和国国家标准
/—
GBT202282021
代替/—
GBT202282006
砷化镓单晶
Galliumarsenidesinlecrstal
gy
2021-05-21发布2021-12-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT202282021
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.120201
起草。
/—《》,/—,
本文件代替GBT202282006砷化镓单晶与GBT202282006相比除结构调整和编辑性
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改动外主要技术变化如下
)(,);
更改了标准的适用范围见第章年版的第章
a120061
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增加了规范性引用文件见第章
bGBT133882
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删除了术语和定义中的单晶晶锭的定义见年版的第章
c20063
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d删除了按生长方法的分类见
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