GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

GB/T 31351-2014 Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers

国家标准中文简体 被代替 已被新标准代替，建议下载标准 GB/T 30868-2025 | 页数：8页 | 格式：PDF

基本信息

标准号

GB/T 31351-2014

标准类型

国家标准

标准状态

被代替

中国标准分类号（CCS）

H26 金属无损检验方法

国际标准分类号（ICS）

77.040.99 金属材料的其他试验方法

发布日期

2014-12-31

实施日期

2015-09-01

发布单位/组织

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)

适用范围

本标准规定了4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片的微管密度的无损检测方法。
本标准适用于4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片经单面抛光或双面抛光后、微管的径向尺寸在一微米至几十微米范围内的微管密度的测量。

发布历史

2014年12月

GB/T 31351-2014　碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

当前标准被代替 2014-12-31

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研制信息

起草单位：: 北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所

起草人：: 陈小龙、郑红军、张玮、郭钰、刘振洲

出版信息：: 页数：8页 | 字数：8 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS77.040.99

H26

中华人民共和国国家标准

/—

GBT313512014

碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

Nondestructivetestmethodformicroiedensitof

ppy

olishedmonocrstallinesiliconcarbidewafers

2014-12-31发布2015-09-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

中华人民共和国

国家标准

碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

/—

GBT313512014

中国标准出版社出版发行

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