GB/T 35309-2017 用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程
GB/T 35309-2017 Practice for evaluation of granular polysilicon by melter-zoner and spectroscopies
国家标准
中文简体
现行
页数：8页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 35309-2017
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2017-12-29
实施日期
2018-07-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本标准规定了用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的代位碳原子浓度、施主杂质浓度和受主杂质浓度的方法。本标准适用于尺寸为600 μm～3 000 μm的颗粒状多晶硅，其他尺寸的颗粒状多晶硅可参照本标准执行。
发布历史
-
2017年12月
研制信息
- 起草单位：
- 江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、洛阳中硅高科技有限公司
- 起草人：
- 王桃霞、刘晓霞、耿全荣、鲁文锋、柳德发、胡伟、邱艳梅、银波、由佰玲、秦榕、严大洲
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.040
H17
中华人民共和国国家标准
/—
GBT353092017
用区熔法和光谱分析法评价
颗粒状多晶硅的规程
Practiceforevaluationofranularolsiliconb
gpyy
melter-zonerandsectroscoies
pp
2017-12-29发布2018-07-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—
GBT353092017
前言
本标准按照/—给出的规则起草的。
GBT1.12009
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)与全国半导体设备和材料标准
SACTC20
定制服务
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