• GB/T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法 现行
    译:GB/T 39144-2020 Test method for magnesium content in gallium nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
    适用范围:本标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。 本标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析,测定范围为不小于5×1014 cm-3。
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040金属材料试验 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2020-10-11 | 实施时间: 2021-09-01
  • GB/T 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 现行
    译:GB/T 39145-2020 Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry
    适用范围:本标准规定了电感耦合等离子体质谱法测定硅片表面金属元素含量的方法。 本标准适用于硅单晶抛光片和硅外延片表面痕量金属钠、镁、铝、钾、钙、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌元素含量的测定,测定范围为108 cm-2~1013 cm-2。本标准同时也适用于硅退火片、硅扩散片等无图形硅片表面痕量金属元素含量的测定。 注:硅片表面的金属元素含量以每平方厘米的原子数计。
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040金属材料试验 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2020-10-11 | 实施时间: 2021-09-01
  • GB/T 38976-2020 硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法 现行
    译:GB/T 38976-2020 Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method
    适用范围:本标准规定了采用惰性气体熔融及红外技术测试硅材料中氧含量的方法。 本标准适用于不同导电类型、不同电阻率范围的硅单晶、多晶硅中氧含量的测试,测试范围为2.5×1015 cm-3(0.05 ppma)~2.5×1018 cm-3(50 ppma)。 注: 硅材料中的氧含量以每立方厘米中的原子数计。
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040金属材料试验 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2020-07-21 | 实施时间: 2021-06-01
  • GB/T 14849.3-2020 工业硅化学分析方法 第3部分:钙含量的测定 现行
    译:GB/T 14849.3-2020 Methods for chemical analysis of silicon metal—Part 3:Determination of calcium content
    适用范围:GB/T 14849的本部分规定了工业硅中钙含量的测定方法。 本部分适用于工业硅中钙含量的测定,测定范围为:0.005 0%~0.55%。
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040.30金属材料化学分析 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2020-03-06 | 实施时间: 2021-02-01
  • GB/T 14849.1-2020 工业硅化学分析方法 第1部分:铁含量的测定 现行
    译:GB/T 14849.1-2020 Methods for chemical analysis of silicon metal—Part 1:Determination of iron content
    适用范围:GB/T 14849的本部分规定了工业硅中铁含量的测定方法。 本部分适用于工业硅中铁含量的测定。测定范围为:0.050%~0.75%。
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040.30金属材料化学分析 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2020-03-06 | 实施时间: 2021-02-01
  • YS/T 1300-2019 氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定  气相色谱质谱联用法 现行
    译:YS/T 1300-2019 Determination of methyl dichlorosilane, trimethyl chlorosilane, and methyl trichlorosilane in chlorosilane using gas chromatography-mass spectrometry
    适用范围:本标准适用于氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷含量的测定,3种含碳化合物的测定范围均为0.1 mg/kg~1000 mg/kg。
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040金属材料试验 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-YS)行业标准-有色金属 | 发布时间: 2019-08-02 | 实施时间: 2020-01-01
  • YS/T 1301-2019 氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定  气相色谱质谱联用法 现行
    译:YS/T 1301-2019 Determination of Trichlorophosphate and Trichlorosulfate in Chlorosilanes by Gas Chromatography-Mass Spectrometry
    适用范围:本标准适用于氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的测定。氯硅烷中三氯氧磷的测定范围为0.3 μg/kg~100 μg/kg,三氯化磷的测定范围为3 μg/kg~100 μg/kg。
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040金属材料试验 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-YS)行业标准-有色金属 | 发布时间: 2019-08-02 | 实施时间: 2020-01-01
  • T/CSTM 00013-2019 铸铁 非化合碳含量的测定 高频感应炉燃烧后-红外吸收法 现行
    译:T/CSTM 00013-2019 Determination of Non-Constitutive Carbon Content in Cast Iron by High Frequency Induction Furnace after Pyrolysis - Infrared Absorption Method
    适用范围:主要技术内容:本标准规定了用高频感应炉燃烧后红外吸收法测定铸铁中非化合碳含量的方法。本标准适用于铸铁中含量为1.0 %~3.0%(质量分数)的非化合碳的测定。本标准不适用于铬含量超过2%的合金铸铁中非化合碳的测定
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.080.10铁 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间: 2019-05-06 | 实施时间: 2019-06-01
  • GB/T 37385-2019 硅中氯离子含量的测定 离子色谱法 现行
    译:GB/T 37385-2019 Test method for chloride content of silicon—Ion chromatography method
    适用范围:本标准规定了硅中氯离子含量的离子色谱测定方法。 本标准适用于测定棒状、块状、颗粒状和片状硅中氯离子含量的测定。测定范围为1.0 μg/g至硅中氯离子的最大固溶度。
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040金属材料试验 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2019-03-25 | 实施时间: 2020-02-01
  • T/CNIA 0014-2019 多晶硅生产用瓷环 现行
    译:T/CNIA 0014-2019 Polysilicon production ceramic ring
    适用范围:主要技术内容:本标准规定了多晶硅生产用氮化硅瓷环的分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于多晶硅生产用氮化硅瓷环(以下简称瓷环)
    【国际标准分类号(ICS)】 :81.060.99有关陶瓷的其他标准 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间: 2019-02-13 | 实施时间: 2019-06-01
  • T/CNIA 0017-2019 多晶硅用氯硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 现行
    译:T/CNIA 0017-2019 Determination of Impurity Content in Polysilicon Using Chlorosilane by Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry (ICP-MS)
    适用范围:主要技术内容:本标准规定了多晶硅用氯硅烷中杂质(硼、磷、铁、钙、铝、铬、镍、铜、锌、钛、钾、钠)含量的电感耦合等离子体质谱测定方法。本标准适用于多晶硅用氯硅烷中杂质(硼、磷、铁、钙、铝、铬、镍、铜、锌、钛、钾、钠)含量的测定,测定范围为0 μg/L ~1000 μg/L
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040.01金属材料试验综合 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间: 2019-02-13 | 实施时间: 2019-06-01
  • GB/T 37211.2-2018 金属锗化学分析方法 第2部分:铝、铁、铜、镍、铅、钙、镁、钴、铟、锌含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 现行
    译:GB/T 37211.2-2018 Methods for chemical analysis of germanium metal—Part 2:Determination of aluminium,iron,copper,nickle,lead,cadmium,magnesium,cobalt,indium,zinc content—Inductively coupled plasma mass spectrometry method
    适用范围:GB/T 37211的本部分规定了还原锗锭、还原锗粉、区熔锗锭及其废料、锗单晶及其废料等锗金属中铝、铁、铜、镍、铅、钙、镁、钴、铟、锌含量的测定方法。 本部分适用于金属锗中杂质元素铝、铁、铜、镍、铅、钙、镁、钴、铟、锌等含量的测定。测定范围:0.005×10-4%~1.00×10-4%。
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040金属材料试验 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2018-12-28 | 实施时间: 2019-11-01
  • GB/T 37211.1-2018 金属锗化学分析方法 第1部分:砷含量的测定 砷斑法 现行
    译:GB/T 37211.1-2018 Methods for chemical analysis of germanium metal—Part 1:Determination of arsenic content—Arsenic stain method
    适用范围:GB/T 37211的本部分规定了还原锗锭、还原锗粉、区熔锗锭及其废料、锗单晶及其废料等锗金属中杂质元素砷含量的测定方法。 本部分适用于锗金属中杂质元素砷含量的测定。测定范围:0.1×10-4 %~1.0×10-4 %。
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040金属材料试验 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2018-12-28 | 实施时间: 2019-11-01
  • GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法 现行
    译:GB/T 4059-2018 Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere
    适用范围:本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量(原子数)的测定,测定范围为0.01×1013 cm-3~500×1013 cm-3。
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040金属材料试验 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2018-12-28 | 实施时间: 2019-11-01
  • GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 现行
    译:GB/T 37049-2018 Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
    适用范围:本标准规定了电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定电子级多晶硅中痕量基体金属杂质含量的方法。 本标准适用于GB/T 12963中在基体金属杂质小于5 ng/g范围内铁、铬、镍、铜、锌、钠含量的测定。
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040.30金属材料化学分析 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2018-12-28 | 实施时间: 2019-04-01
  • YS/T 37.4-2018 高纯二氧化锗化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法测定镁、铝、钴、镍、铜、锌、铟、铅、钙、铁和砷量 现行
    译:YS/T 37.4-2018 YS/T 37.4-2018 Chemical analysis methods for high purity germanium dioxide (II), determination of magnesium, aluminum, cobalt, nickel, copper, zinc, indium, lead, calcium, iron and arsenic by inductively coupled plasma mass spectrometry
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040.30金属材料化学分析 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-YS)行业标准-有色金属 | 发布时间: 2018-10-22 | 实施时间: 2019-04-01
  • YS/T 1290-2018 多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法 现行
    译:YS/T 1290-2018 Determination of silicon content in tail gas from polycrystalline silicon production by gas chromatography
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040金属材料试验 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-YS)行业标准-有色金属 | 发布时间: 2018-10-22 | 实施时间: 2019-04-01
  • YS/T 37.3-2018 高纯二氧化锗化学分析方法 石墨炉原子吸收光谱法测定砷量 现行
    译:YS/T 37.3-2018 The Chemical Analysis Methods of High-purity Germanium Dioxide - Determination of Arsenic by Graphite Furnace Atomic Absorption Spectrometry. The translation of this statement is "High-purity germanium dioxide chemical analysis methods: Determination of arsenic content by graphite furnace atomic absorption spectroscopy."
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040.30金属材料化学分析 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-YS)行业标准-有色金属 | 发布时间: 2018-10-22 | 实施时间: 2019-04-01
  • YS/T 37.2-2018 高纯二氧化锗化学分析方法  钼蓝分光光度法测定硅量 现行
    译:YS/T 37.2-2018 YS/T 37.2-2018 Chemical analysis methods for high purity germanium dioxide - Part 2: Determination of silicon content using molybdenum blue spectrophotometry
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040.30金属材料化学分析 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-YS)行业标准-有色金属 | 发布时间: 2018-10-22 | 实施时间: 2019-04-01
  • YS/T 37.5-2018 高纯二氧化锗化学分析方法 石墨炉原子吸收光谱法测定铁量 现行
    译:YS/T 37.5-2018 The chemical analysis method for high purity germanium dioxide using graphite furnace atomic absorption spectrometry for the determination of iron content
    【国际标准分类号(ICS)】 :77.040.30金属材料化学分析 【中国标准分类号(CCS)】 :H17半金属及半导体材料分析方法
    发布单位或类别:(CN-YS)行业标准-有色金属 | 发布时间: 2018-10-22 | 实施时间: 2019-04-01